Los cátodos para sputtering se fabrican mediante diversos procesos que dependen de las propiedades del material y de la aplicación prevista. Entre los métodos más comunes se encuentran la fusión y fundición en vacío, el prensado en caliente, el prensado en frío y la sinterización, así como procesos especiales de sinterización por prensado. Estos procesos garantizan la producción de cátodos de alta calidad, químicamente puros y metalúrgicamente uniformes que se utilizan en la deposición catódica para crear películas finas.
Procesos de fabricación:
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Fusión y colada en vacío: Este proceso consiste en fundir las materias primas al vacío para evitar la contaminación y, a continuación, moldearlas con la forma deseada. Este método es especialmente eficaz para materiales que requieren gran pureza.
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Prensado en caliente y prensado en frío con sinterización: Estos métodos implican el prensado de materiales en polvo a temperaturas altas o ambiente, seguido de la sinterización para unir las partículas. Con el prensado en caliente se consiguen densidades más altas y mejores propiedades mecánicas.
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Proceso especial de prensado-sinterizado: Se trata de un proceso a medida para materiales específicos que requieren condiciones únicas para una densificación y unión óptimas.
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Prensado en caliente al vacío: Similar al prensado en caliente, pero realizado al vacío para mejorar la pureza y evitar la oxidación.
Forma y tamaño:
Los cátodos para sputtering pueden fabricarse con diversas formas y tamaños, normalmente circulares o rectangulares. Sin embargo, las limitaciones técnicas pueden hacer necesaria la producción de cátodos de varios segmentos, que se unen mediante juntas a tope o biseladas.Garantía de calidad:
Cada lote de producción se somete a rigurosos procesos analíticos para garantizar el cumplimiento de normas de alta calidad. Cada envío va acompañado de un certificado de análisis que garantiza las propiedades y la pureza del material.
Aplicación en la deposición de películas finas:
Los cátodos para sputtering son cruciales en la deposición por sputtering, una técnica utilizada para producir películas finas para aplicaciones como semiconductores, células solares y componentes ópticos. Los cátodos, hechos de metales puros, aleaciones o compuestos, se bombardean con iones gaseosos, lo que provoca la expulsión de partículas que se depositan sobre un sustrato y forman una película fina.
Reciclaje:
