La pulverización DC se basa fundamentalmente en una fuente de alimentación de corriente continua (DC). Para facilitar el proceso, la presión de la cámara de vacío se mantiene estrictamente en un rango de 1 a 100 mTorr.
La pulverización DC se define por el uso de una fuente de alimentación de corriente continua y una ventana de presión operativa específica de 1 a 100 mTorr, lo que la diferencia de los métodos de corriente alterna de alta frecuencia.
Los Parámetros Operativos Centrales
La Fuente de Alimentación
La característica principal de la pulverización DC es su fuente de alimentación. Como su nombre indica, utiliza Corriente Continua (DC).
Esta configuración proporciona un flujo continuo de carga eléctrica en una dirección. Se opone directamente a otros métodos de pulverización que dependen de corrientes alternas u oscilantes.
Requisitos de Presión de Cámara
El entorno dentro de la cámara de pulverización es tan crítico como la fuente de alimentación.
Para la pulverización DC, el sistema requiere un entorno de vacío controlado. La presión operativa típica para este proceso se encuentra entre 1 y 100 mTorr.
Comparación de Configuraciones de Alimentación
Fuentes de Alimentación DC vs. RF
Es útil comprender lo que la pulverización DC *no* es para comprender completamente su configuración.
Mientras que la pulverización DC utiliza una fuente de corriente continua, la pulverización RF utiliza una fuente de alimentación de Corriente Alterna (AC).
Diferencias de Frecuencia
En las configuraciones RF, la fuente de alimentación suele ser una fuente de radiofrecuencia de alto voltaje.
Esta fuente a menudo se fija en una frecuencia específica de 13.56 MHz, mientras que la pulverización DC no depende de esta oscilación de alta frecuencia.
Resumen de los Requisitos de Pulverización
Si su aplicación específica requiere pulverización DC:
- Asegúrese de que su fuente de alimentación esté configurada para salida de Corriente Continua (DC).
- Mantenga la presión de su cámara de vacío estrictamente entre 1 y 100 mTorr.
Si se encuentra con especificaciones de Pulverización RF:
- Tenga en cuenta que este proceso requiere una fuente de Corriente Alterna (AC), típicamente a 13.56 MHz.
Seleccionar la fuente de alimentación y el rango de presión correctos es el paso fundamental para establecer un sistema de deposición por pulverización funcional.
Tabla Resumen:
| Característica | Pulverización DC | Pulverización RF |
|---|---|---|
| Fuente de Alimentación | Corriente Continua (DC) | Corriente Alterna (AC) |
| Presión Operativa | 1 - 100 mTorr | A menudo más baja que DC |
| Frecuencia | N/A (Continua) | Típicamente 13.56 MHz |
| Uso Común | Objetivos Conductores | Objetivos Aislantes y Conductores |
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