La principal diferencia entre el sputtering RF y el sputtering DC radica en sus fuentes de energía.
El sputtering de CC utiliza una corriente continua como fuente de energía.
El sputtering RF utiliza una fuente de corriente alterna (CA).
Esta diferencia en las fuentes de energía da lugar a varias distinciones entre las dos técnicas de sputtering.
4 puntos clave para entender la diferencia entre el sputtering RF y el sputtering DC
1. Requisitos de tensión
El sputtering DC requiere normalmente entre 2.000 y 5.000 voltios.
El sputtering RF requiere 1.012 voltios o más para alcanzar la misma velocidad de deposición.
Esto se debe a que el sputtering DC implica el bombardeo iónico directo del plasma gaseoso por electrones.
El sputtering RF utiliza energía cinética para extraer electrones de las capas exteriores de los átomos de gas.
La creación de ondas de radio en el sputtering RF requiere más suministro de energía para conseguir el mismo efecto que una corriente de electrones.
2. Presión de la cámara
El sputtering RF puede mantener el plasma de gas a una presión de cámara significativamente inferior a 15 mTorr.
El sputtering DC requiere una presión de cámara de 100 mTorr.
Esta presión más baja ayuda a reducir el número de colisiones entre las partículas de plasma cargadas y el material objetivo.
Crea un camino más directo hacia el blanco de sputtering.
3. Aplicabilidad
El sputtering DC es ampliamente utilizado, efectivo y económico.
Es adecuado para el procesamiento de grandes cantidades de sustrato.
El sputtering RF funciona tanto con materiales conductores como no conductores.
Es más caro y tiene un menor rendimiento de sputtering.
Es más adecuado para sustratos de menor tamaño.
4. Resumen de las diferencias
El sputtering RF utiliza una fuente de alimentación de CA, requiere un voltaje más alto, funciona a una presión de cámara más baja y es adecuado tanto para materiales conductores como no conductores.
El sputtering DC utiliza una fuente de alimentación DC, requiere un voltaje más bajo, funciona a una presión de cámara más alta y es más económico para procesar grandes cantidades de sustratos.
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