MPCVD
Equipo HFCVD con revestimiento de nanodiamante y troquel de trefilado
Número de artículo : MP-CVD-100
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El principio de funcionamiento de la deposición química de vapor del diamante HFCVD es: mezclar una atmósfera que contiene carbono con hidrógeno sobresaturado, activarlo de cierta manera y luego pasarlo a través de una determinada composición de la atmósfera, energía de activación, temperatura del sustrato y la distancia entre el sustrato y la fuente de activación, etc. En estas condiciones, se deposita una película de diamante en la superficie inferior. Generalmente se cree que la nucleación y crecimiento de películas de diamante se puede dividir en tres etapas:
- El gas que contiene carbono y el gas radón se descomponen en átomos de carbono, hidrógeno y otros grupos libres activos a una determinada temperatura. Se combinan con la matriz para formar primero una capa de transición de carburo muy delgada.
- Los átomos de carbono depositan núcleos de diamante en la capa de transición formada sobre el sustrato.
- El núcleo de cristal de diamante formado crece hasta convertirse en un microelemento de diamante en un entorno adecuado y luego crece hasta convertirse en una película de diamante.
Detalle y piezas
Especificaciones técnicas
| Composición técnica de HFCVD | ||
| Parámetros técnicos | Composición del equipo | Configuración del sistema |
| Campana de cristal: diámetro. 500 mm, altura 550 mm, cámara de acero inoxidable SUS304; aislamiento interior de piel de acero inoxidable, altura de elevación de 350 mm; | Un conjunto de cuerpo principal de cámara de vacío (campana de cristal) (estructura de refrigeración por agua con camisa) | Cuerpo principal de la cámara de vacío (campana de vidrio); la cavidad está hecha de acero inoxidable 304 de alta calidad; Campana de cristal vertical: la camisa de refrigeración por agua se instala en la periferia general de la campana de cristal. La pared interior de la campana está aislada con una piel de acero inoxidable y la campana está fijada en el lateral. Posicionamiento preciso y estable; Ventana de observación: dispuesta horizontalmente en el medio de la cámara de vacío Ventana de observación de 200 mm, refrigeración por agua, deflector, configuración lateral y superior Ángulo de bisel de 45 grados, ventana de observación de 50° (observe el mismo punto que la ventana de observación horizontal y la plataforma de soporte de la muestra ); las dos ventanas de observación mantienen la posición y el tamaño existentes. El fondo de la campana es 20 mm más alto que el plano del banco, ajuste el enfriamiento; los orificios reservados en el avión, como válvulas grandes, válvulas de liberación de aire, medición de presión de aire, válvulas de derivación, etc., están sellados con malla metálica y reservados para instalar la interfaz de electrodos; |
| Mesa de equipo: L1550* W900*H1100mm | Un juego de dispositivo de mesa de muestra de arrastre (que adopta una unidad de doble eje) | Dispositivo portamuestras: Dispositivo portamuestras de acero inoxidable (refrigeración por agua de soldadura) de 6 posiciones; se puede ajustar por separado, solo ajuste hacia arriba y hacia abajo, el rango de ajuste hacia arriba y hacia abajo es de 25 mm, y se requiere que la vibración izquierda y derecha sea inferior al 3% al subir y bajar (es decir, la vibración izquierda y derecha de subir o bajar 1 mm es menos de 0,03 mm) y la etapa de muestra no gira cuando sube o baja. |
| Grado de vacío máximo: 2,0×10-1Pa; | Un conjunto de sistema de vacío. | Sistema de vacío: Configuración del sistema de vacío: bomba mecánica + válvula de vacío + válvula de purga física + tubo de escape principal + bypass; (proporcionada por el proveedor de la bomba de vacío), la válvula de vacío utiliza una válvula neumática; Medida del sistema de vacío: Presión de membrana. |
| Tasa de aumento de presión: ≤5Pa/h; | Sistema de suministro de gas con medidor de flujo másico de dos canales | Sistema de suministro de gas: el medidor de flujo másico está configurado por la Parte B, entrada de aire de dos vías, el caudal es controlado por el medidor de flujo másico, después de la reunión de dos vías, ingresa a la cámara de vacío desde la parte superior y el interior. del tubo de entrada de aire es de 50 mm |
| Movimiento de la mesa de muestra: el rango hacia arriba y hacia abajo es de ± 25 m; es necesario agitar la proporción izquierda y derecha cuando esté arriba y abajo en ± 3%; | Un juego de dispositivo de electrodo (2 canales) | Dispositivo de electrodo: la dirección longitudinal de los cuatro orificios del electrodo es paralela a la dirección longitudinal de la plataforma de soporte, y la dirección longitudinal mira hacia la ventana de observación principal con un diámetro de 200 mm. |
| Presión de trabajo: utilice un manómetro de membrana, rango de medición: 0 ~ 10 kPa; Trabaja constante a 1 kPa ~ 5 kPa, el valor de presión constante cambia más o menos 0,1 kPa; | Un conjunto de sistema de agua de refrigeración. | Sistema de agua de refrigeración: la campana, los electrodos y la placa inferior están equipados con tuberías de refrigeración por agua circulante y están equipados con un dispositivo de alarma de flujo de agua insuficiente 3.7: sistema de control. Los interruptores, instrumentos, instrumentos y fuente de alimentación para levantamiento de campana, desinflado, bomba de vacío, vía principal, derivación, alarma, flujo, presión de aire, etc. se encuentran en el costado del soporte y se controlan mediante una pantalla táctil de 14 pulgadas. ; El equipo tiene un programa de control totalmente automático sin intervención manual, y puede almacenar datos y datos de llamadas. |
| Posición de entrada de aire: la entrada de aire se encuentra en la parte superior de la campana y la posición del puerto de escape se encuentra directamente debajo del portamuestras; | Sistema de control | |
| Sistema de control: Controlador PLC + pantalla táctil de 10 pulgadas | Un conjunto de sistema de control de presión automático (válvula de control de presión original importada de Alemania) | |
| Sistema de inflado: medidor de flujo másico de 2 canales, rango de flujo: 0-2000 sccm y 0-200 sccm; válvula de válvula neumática | Vacuómetro de resistencia | |
| 3.1.10 Bomba de vacío: bomba de vacío D16C | ||
Ventajas
La matriz de trefilado con recubrimiento compuesto de nanodiamante utiliza carburo cementado (WC-Co) como sustrato y utiliza el método químico en fase de vapor (método CVD para abreviar) para recubrir el recubrimiento compuesto de diamante y nanodiamante convencional en la superficie del interior. agujero del molde. Y un producto nuevo obtenido tras esmerilar y pulir el revestimiento. El recubrimiento compuesto de nanodiamante recubierto en la superficie del orificio interior no solo tiene las características de fuerte adhesión y resistencia al desgaste del recubrimiento de diamante convencional, sino que también tiene las ventajas de una superficie plana y lisa del recubrimiento de nanodiamante, pequeña fricción. Coeficiente y fácil esmerilado y pulido. La tecnología de recubrimiento no solo resuelve el problema técnico de la adhesión del recubrimiento, sino que también supera el cuello de botella que supone que la superficie del recubrimiento de diamante no es fácil de pulir y elimina los obstáculos para la industrialización de la película de diamante CVD.
Indicadores técnicos | Troquel de dibujo tradicional | Troquel de dibujo recubierto de nanodiamante |
Tamaño de grano de la superficie del revestimiento | ninguno | 20~80nm |
Contenido de diamante del recubrimiento | ninguno | ≥99% |
Espesor del revestimiento de diamante | ninguno | 10 ~ 15mm |
Rugosidad de la superficie | Ra≤0,1mm | Clase A: Ra≤0,1 mm Clase B: Ra≤0,05 mm |
Rango de diámetro del orificio interior del troquel de dibujo de recubrimiento | Ф3 ~ Ф70mm | Ф3 ~ Ф70mm |
Vida útil | La esperanza de vida depende de las condiciones de trabajo. | 6-10 veces más |
Coeficiente de fricción superficial | 0,8 | 0.1 |
- Para el paralelismo y la rectitud de la plataforma de elevación del molde del equipo, nuestra empresa ha producido herramientas especiales. El método de elevación biaxial es suficiente para permitir que los dos extremos se eleven y bajen con aproximadamente ±2 cables, de modo que se puedan fabricar moldes más pequeños.
- Para el utillaje de los equipos, nuestra empresa integra la ubicación de cada empresa en el utillaje, apuntando al utillaje y proceso del molde. Buenas herramientas y sujeción, estables y confiables, de alta precisión, fáciles de operar.
- Para la válvula de cierre del equipo, otros fabricantes utilizan válvulas deflectoras, que no se pueden ajustar linealmente (es decir, el espacio aumenta rápidamente tan pronto como se abre). Nuestra empresa lo diseña de acuerdo con el principio de válvula de cierre y control de presión estable, de modo que la separación de cierre se pueda ajustar linealmente para lograr un control de presión estable;
- El sistema de control totalmente automático controla automáticamente la presión según algoritmos informáticos; puede reducir la aleatoriedad del operador y hacer que el proceso sea más confidencial. Ahorra mano de obra y la consistencia de la calidad del molde con las mismas especificaciones es más ideal;
- Para la estabilidad de la campana de elevación, nuestra empresa utiliza cojinetes autolubricantes, que hacen que la rotación sea más flexible y libre de atascos. Proceso básico, el recubrimiento de diamante se puede realizar de acuerdo con el proceso de recubrimiento de diamante de cada cliente.
Advertencias
¡La seguridad del operador es el tema más importante! Por favor, opere el equipo con precauciones. Trabajar con gases inflamables, explosivos o tóxicos es muy peligroso, los operadores deben tomar todas las precauciones necesarias antes de poner en marcha el equipo. Trabajar con presión positiva dentro de los reactores o cámaras es peligroso, el operador debe respetar estrictamente los procedimientos de seguridad. También se debe tener precaución adicional cuando se opera con materiales que reaccionan con el aire, especialmente bajo vacío. Una fuga puede introducir aire en el aparato y provocar una reacción violenta.
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