Horno CVD y PECVD
Horno CVD versátil hecho por el cliente
Número de artículo : KT-CTF16
El precio varía según Especificaciones y personalizaciones
- máx. temperatura
- 1600 ℃
- Temperatura de trabajo constante
- 1550 ℃
- Diámetro del tubo del horno
- 60mm
- Zona de calentamiento
- 3x300mm
- Velocidad de calentamiento
- 0-10 ℃/min
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Aplicaciones
KT-CTF16 El horno CVD versátil hecho por el cliente se puede producir de acuerdo con los requisitos personalizados del cliente, que puede realizar el equipo exclusivo del investigador.
Función hecha por el cliente como cámara de horno deslizante, tubo de reacción de horno deslizante/giratorio/inclinable/agitador, cámara de reacción de lecho fluidizado vertical, alimentación de gasificación líquida, alimentación y descarga continua de sellado al vacío, recolección de emisiones tóxicas, producción piloto de CVD, etc.
Características
- Zonas de calentamiento independientes capaces de crear un campo de temperatura constante más largo como si fuera un gradiente de temperatura controlado
- Control de temperatura programable PID, excelente precisión de control y soporte de control remoto y control centralizado
- Control de caudalímetro másico MFC de alta precisión, premezcla de gases fuente y velocidad de suministro de gas estable
- Brida de vacío de acero inoxidable con varios puertos de adaptación para adaptarse a diferentes configuraciones de estaciones de bomba de vacío, buen sellado y alto grado de vacío
- KT-CTF16 Pro aplica un controlador de pantalla táctil TFT de 7 pulgadas, configuración de programa más amigable y análisis de datos históricos
Diferentes sistemas CVD de configuración y temperatura disponibles
Especificaciones técnicas
| Modelo de horno | KT-CTF16-60 |
| máx. temperatura | 1600℃ |
| Temperatura de trabajo constante | 1550℃ |
| Material del tubo del horno | Tubo Al2O3 de alta pureza |
| Diámetro del tubo del horno | 60 mm |
| Zona de calentamiento | 3x300mm |
| Material de la cámara | Fibra policristalina de alúmina |
| Elemento de calefacción | Carburo de silicio |
| Velocidad de calentamiento | 0-10 ℃/minuto |
| Pareja térmica | tipo S |
| Controlador de temperatura | Controlador PID digital/Controlador PID de pantalla táctil |
| Precisión del control de temperatura | ±1℃ |
| Unidad de control de precisión de gas | |
| Medidor de corriente | Medidor de flujo másico MFC |
| Canales de gas | 3 canales |
| Tasa de flujo | MFC1: 0-5 SCCM O2 MFC2: 0-20SCMCH4 MFC3: 0- 100 SCCM H2 MFC4: 0-500 SCCM N2 |
| linealidad | ±0,5 % fondo de escala |
| Repetibilidad | ±0,2 % fondo de escala |
| Tubería y válvula | Acero inoxidable |
| Presión máxima de funcionamiento | 0.45MPa |
| Controlador de medidor de flujo | Controlador de perilla digital/controlador de pantalla táctil |
| Unidad de vacío estándar (Opcional) | |
| Bomba aspiradora | Bomba de vacío de paletas rotativas |
| Caudal de la bomba | 4L/S |
| Puerto de succión de vacío | KF25 |
| Indicador de vacio | Vacuómetro Pirani/Resistencia de silicio |
| Presión de vacío nominal | 10Pa |
| Unidad de alto vacío (Opcional) | |
| Bomba aspiradora | Bomba rotativa de paletas+bomba molecular |
| Caudal de la bomba | 4L/S+110L/S |
| Puerto de succión de vacío | KF25 |
| Indicador de vacio | Vacuómetro compuesto |
| Presión de vacío nominal | 6x10-5Pa |
| Las especificaciones y configuraciones anteriores se pueden personalizar | |
Paquete estándar
| No. | Descripción | Cantidad |
| 1 | Horno | 1 |
| 2 | tubo de cuarzo | 1 |
| 3 | Brida de vacío | 2 |
| 4 | Bloque térmico de tubo | 2 |
| 5 | Gancho de bloque térmico de tubo | 1 |
| 6 | Guante resistente al calor | 1 |
| 7 | Control preciso de gases | 1 |
| 8 | Unidad de vacío | 1 |
| 9 | Operación manual | 1 |
Configuración opcional
- En la detección y monitoreo de gases de tubo, como H2, O2, etc.
- Monitoreo y registro de la temperatura del horno independiente
- Puerto de comunicación RS 485 para control remoto de PC y exportación de datos
- Inserte el control de caudal de alimentación de gases, como caudalímetro másico y caudalímetro de flotador
- Controlador de temperatura de pantalla táctil con funciones versátiles fáciles de usar
- Configuraciones de estaciones de bombeo de alto vacío, como bomba de vacío de paletas, bomba molecular, bomba de difusión
Advertencias
¡La seguridad del operador es el tema más importante! Por favor, opere el equipo con precauciones. Trabajar con gases inflamables, explosivos o tóxicos es muy peligroso, los operadores deben tomar todas las precauciones necesarias antes de poner en marcha el equipo. Trabajar con presión positiva dentro de los reactores o cámaras es peligroso, el operador debe respetar estrictamente los procedimientos de seguridad. También se debe tener precaución adicional cuando se opera con materiales que reaccionan con el aire, especialmente bajo vacío. Una fuga puede introducir aire en el aparato y provocar una reacción violenta.
Diseñado para ti
KinTek brinda un profundo servicio y equipo personalizado a clientes de todo el mundo, nuestro trabajo en equipo especializado y nuestros ingenieros ricos y experimentados son capaces de llevar a cabo los requisitos de equipos de hardware y software personalizados, y ayudar a nuestros clientes a construir el equipo y la solución exclusivos y personalizados.
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KT-CTF16 is a great furnace, it offers high-quality CVD processing with precise temperature control and customizable setups. The customer service is also top-notch, highly recommended!
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