MPCVD
Sistema de Reactor de Máquina MPCVD de Resonador Cilíndrico para Deposición Química de Vapor de Plasma de Microondas y Crecimiento de Diamantes de Laboratorio
Número de artículo : KTWB315
El precio varía según Especificaciones y personalizaciones
- Potencia de microondas
- Frecuencia de microondas 2450±15MHZ
- Potencia de salida
- 1～10 KW continuamente ajustable
- Fuga de microondas
- ≤2MW/cm2
- Interfaz de guía de ondas de salida
- WR340, 430 con brida estándar FD-340, 430
- Soporte de muestra
- Diámetro de la mesa de muestra≥72mm, área de uso efectiva≥66 mm
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MPCVD significa Deposición Química de Vapor de Plasma de Microondas. Es un método para cultivar películas de diamante de alta calidad en laboratorio utilizando un gas que contiene carbono y un plasma de microondas.
Sistema MPCVD
El sistema MPCVD (Deposición Química de Vapor de Plasma de Microondas) es un proceso utilizado para depositar películas delgadas sobre la superficie de un sustrato. El sistema consta de una cámara de vacío donde se lleva a cabo el proceso de deposición, un generador de microondas y un sistema de suministro de gas. El generador de microondas se utiliza para generar un plasma dentro de la cámara de vacío, que se utiliza para descomponer y depositar las especies de gas en el sustrato.
El generador de microondas suele ser un magnetrón o klystrón, que genera microondas en el rango de 2,45 GHz. Las microondas se acoplan a la cámara de vacío a través de una ventana de cuarzo.
El sistema de suministro de gas consta de controladores de flujo másico (MFC) que controlan el flujo de gas hacia la cámara de vacío. Los MFC están calibrados en centímetros cúbicos estándar por minuto (sccm).
La temperatura del sustrato se controla mediante la posición del plasma y se mide con un termopar. El plasma se utiliza para calentar el sustrato, y la temperatura es monitoreada por el termopar para asegurar que el sustrato esté a la temperatura deseada durante el proceso de deposición.
Aplicaciones
MPCVD es una tecnología prometedora para producir diamantes grandes de alta calidad y bajo costo.
Las propiedades únicas del diamante, incluida su dureza, rigidez, alta conductividad térmica, baja expansión térmica, resistencia a la radiación e inercia química, lo convierten en un material valioso.
A pesar de su gran potencial, el alto costo, el tamaño limitado y la dificultad para controlar las impurezas de los diamantes naturales y sintéticos de alta presión y alta temperatura han limitado sus aplicaciones.
MPCVD es el equipo principal utilizado para cultivar gemas y películas de diamante.
El crecimiento de películas de diamante puede ser monocristalino o policristalino, y se utiliza ampliamente en la industria de semiconductores para sustratos de diamante de gran tamaño, así como en la industria de herramientas de corte o perforación de diamantes.
En comparación con el método HPHT para diamantes cultivados en laboratorio, el método de CVD de microondas es ventajoso para el crecimiento de diamantes de gran tamaño a un costo menor, lo que lo convierte en una solución ideal para aplicaciones de diamantes semiconductores, crecimiento de diamantes ópticos y las necesidades del mercado de diamantes de joyería de gran tamaño.
Ventajas de MPCVD
MPCVD es un método de síntesis de diamantes que tiene varias ventajas sobre otros métodos, como HFCVD y DC-PJ CVD. Evita la contaminación de diamantes por alambres calientes y permite el uso de múltiples gases para satisfacer diferentes necesidades industriales. En comparación con DC-PJ CVD, permite un ajuste suave y continuo de la potencia de microondas y un control estable de la temperatura de reacción, lo que evita que las semillas de cristal se caigan del sustrato debido a arcos y fallos de llama. Con una gran área de plasma de descarga estable, el método MPCVD se considera el método de síntesis de diamantes más prometedor para aplicaciones industriales.
Los diamantes producidos a través de MPCVD son de mayor pureza en comparación con los producidos utilizando el método HPHT, y el proceso de producción consume menos energía. Además, el método MPCVD facilita la producción de diamantes más grandes.
Ventajas de Nuestro Sistema MPCVD
Hemos estado profundamente involucrados en la industria durante muchos años y, como resultado, tenemos una gran base de clientes que confían y utilizan nuestros equipos. Nuestro equipo MPCVD ha estado funcionando de manera constante durante más de 40.000 horas, demostrando una estabilidad, confiabilidad, repetibilidad y rentabilidad excepcionales. Más ventajas de nuestro sistema MPCVD incluyen:
- Área de crecimiento de sustrato de 3 pulgadas, carga máxima por lote hasta 45 piezas de diamantes
- Potencia de microondas de salida ajustable de 1-10Kw para un menor consumo de electricidad
- Equipo de investigación con amplia experiencia y soporte de recetas de crecimiento de diamantes de vanguardia
- Programa de soporte técnico exclusivo para equipos sin experiencia en crecimiento de diamantes
Al aprovechar nuestra tecnología avanzada acumulada, hemos implementado múltiples rondas de actualizaciones y mejoras en nuestro sistema MPCVD, lo que ha resultado en una eficiencia significativamente mejorada y costos de equipo reducidos. Como resultado, nuestro equipo MPCVD está a la vanguardia de los avances tecnológicos y se ofrece a un precio competitivo. Bienvenido a consultarnos.
Proceso de Trabajo
La máquina MPCVD controla el flujo de cada ruta de gas y la presión de la cavidad mientras introduce gases reactivos (como CH4, H2, Ar, O2, N2, etc.) en la cavidad bajo una presión específica. Después de estabilizar el flujo de aire, el generador de microondas de estado sólido de 6KW genera microondas que luego se introducen en la cavidad a través de la guía de ondas.
El gas de reacción se transforma en un estado de plasma bajo el campo de microondas, formando una bola de plasma que flota sobre el sustrato de diamante. La alta temperatura del plasma calienta el sustrato a una temperatura específica. El exceso de calor producido en la cavidad se disipa mediante la unidad de enfriamiento por agua.
Para garantizar condiciones de crecimiento óptimas durante el proceso de crecimiento de diamantes monocristalinos MPCVD, ajustamos factores como la potencia, la composición de la fuente de gas y la presión de la cavidad. Además, dado que la bola de plasma no entra en contacto con la pared de la cavidad, el proceso de crecimiento de diamantes está libre de impurezas, lo que mejora la calidad del diamante.
Detalle y Piezas
Sistema de microondas
Cámara de reacción
Sistema de flujo de gas
Sistema de vacío y sensor
Especificaciones técnicas
| Sistema de microondas |
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| Cámara de reacción |
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| Soporte de muestra |
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| Sistema de flujo de gas |
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| Sistema de refrigeración |
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| Sensor de temperatura |
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| Sistema de control |
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| Función opcional |
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Advertencias
¡La seguridad del operador es el tema más importante! Por favor, opere el equipo con precauciones. Trabajar con gases inflamables, explosivos o tóxicos es muy peligroso, los operadores deben tomar todas las precauciones necesarias antes de poner en marcha el equipo. Trabajar con presión positiva dentro de los reactores o cámaras es peligroso, el operador debe respetar estrictamente los procedimientos de seguridad. También se debe tener precaución adicional cuando se opera con materiales que reaccionan con el aire, especialmente bajo vacío. Una fuga puede introducir aire en el aparato y provocar una reacción violenta.
Diseñado para ti
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FAQ
¿Qué Es Mpcvd?
¿Qué Es La Máquina Mpcvd?
¿Cuáles Son Las Ventajas De Mpcvd?
¿Los Diamantes CVD Son Reales O Falsos?
4.9
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5
KINTEK's MPCVD machine is a game-changer! Its 1-10Kw adjustable output microwave power feature not only saves electricity but also ensures precise control over the diamond growth process.
4.8
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As a lab manager, I appreciate the stability and reliability of the KINTEK MPCVD system. It has been running non-stop for over 40,000 hours, providing us with consistent, high-quality diamond growth.
4.7
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The rich experience and frontier diamond growing recipe support from KINTEK's research team have been invaluable. Their expertise has helped us optimize our MPCVD process and achieve exceptional results.
4.8
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KINTEK's exclusive technical support program for teams with zero diamond growing experience is a lifesaver. Their guidance and assistance have been instrumental in our successful adoption of the MPCVD system.
5.0
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The 3 inches substrate growing area and max. batch load of up to 45 pieces diamonds make the KINTEK MPCVD machine a highly efficient and productive choice for our lab. We can now produce more diamonds in less time.
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The KINTEK MPCVD system is a technological marvel. Its advanced features and continuous upgrades have kept us at the forefront of diamond growth innovation.
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