Los cátodos para sputtering se fabrican mediante diversos procesos adaptados a las propiedades del material y a la aplicación prevista. Entre los métodos más comunes se encuentran el prensado en caliente al vacío, el prensado en frío y la sinterización, y la fusión y fundición al vacío. El proceso comienza con la selección y preparación de las materias primas, seguida de la mezcla o aleación mediante sinterización o fusión y, a continuación, la molienda para conseguir la calidad deseada. Cada lote de producción se somete a rigurosas pruebas analíticas, y cada envío va acompañado de un certificado de análisis.
Explicación detallada:
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Selección y preparación del material:
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El proceso de fabricación comienza con la selección de las materias primas adecuadas en función de las propiedades deseadas del cátodo para sputtering. Estos materiales suelen ser metales, aleaciones o compuestos como óxidos, nitruros y carburos. La pureza y calidad de estas materias primas son cruciales, ya que influyen directamente en el rendimiento del cátodo para sputtering.Mezcla y aleación:
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En función de los requisitos, las materias primas pueden mezclarse o alearse. Este proceso es fundamental para crear materiales homogéneos que garanticen unos resultados de sputtering uniformes. La mezcla puede realizarse por medios mecánicos, mientras que la aleación suele implicar la fusión de los materiales en condiciones controladas.
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Sinterización y fusión:
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Tras la mezcla o la aleación, los materiales se someten a procesos de sinterización o fusión. La sinterización consiste en calentar el material por debajo de su punto de fusión para unir las partículas, mientras que la fusión licua completamente el material para su fundición. Estos procesos suelen realizarse al vacío o en atmósferas controladas para evitar la contaminación y garantizar una gran pureza.Conformado y moldeo:
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El material sinterizado o fundido se moldea para darle la forma deseada, que suele ser un disco o una lámina. Esto puede lograrse mediante diversos métodos, como el prensado en caliente, el prensado en frío, el laminado o la forja. La elección del método depende de las propiedades del material y las especificaciones del objetivo.
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Rectificado y acabado:
Una vez obtenida la forma básica, el objetivo se somete a procesos de rectificado y acabado para conseguir las dimensiones y el acabado superficial requeridos. Este paso es crucial para garantizar un buen rendimiento del cátodo en el proceso de sputtering, ya que las imperfecciones de la superficie pueden afectar a la uniformidad y calidad de la película depositada.
Control y análisis de calidad:
