El recubrimiento por pulverización catódica para SEM suele implicar la aplicación de una capa metálica ultrafina conductora de la electricidad con un grosor de entre 2 y 20 nm. Este recubrimiento es crucial para las muestras no conductoras o poco conductoras, ya que evita que se carguen y mejora la relación señal/ruido en las imágenes de SEM.
Explicación detallada:
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Finalidad del recubrimiento por pulverización catódica:
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El recubrimiento por pulverización catódica se utiliza principalmente para aplicar una fina capa de metal conductor sobre muestras no conductoras o poco conductoras. Esta capa ayuda a evitar la acumulación de campos eléctricos estáticos, que pueden interferir en el proceso de obtención de imágenes en SEM. Al hacerlo, también mejora la emisión de electrones secundarios de la superficie de la muestra, mejorando así la relación señal-ruido y la calidad general de las imágenes SEM.Espesor típico:
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El espesor de las películas bombardeadas suele oscilar entre 2 y 20 nm. Este rango se elige para garantizar que el recubrimiento sea lo suficientemente fino como para no oscurecer los detalles finos de la muestra, pero lo suficientemente grueso como para proporcionar una conductividad eléctrica eficaz y evitar la carga. Para un microscopio electrónico de barrido de bajo aumento, los recubrimientos de 10-20 nm suelen ser suficientes y no afectan significativamente a la obtención de imágenes. Sin embargo, para SEM de mayor aumento, especialmente aquellos con resoluciones inferiores a 5 nm, se prefieren revestimientos más finos (de hasta 1 nm) para evitar oscurecer los detalles de la muestra.
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Materiales utilizados:
Entre los metales más utilizados para el recubrimiento por pulverización catódica se encuentran el oro (Au), el oro/paladio (Au/Pd), el platino (Pt), la plata (Ag), el cromo (Cr) y el iridio (Ir). Estos materiales se eligen por su conductividad y su capacidad para mejorar las condiciones de formación de imágenes en SEM. En algunos casos, puede ser preferible un recubrimiento de carbono, especialmente para aplicaciones como la espectroscopia de rayos X y la difracción de electrones retrodispersados (EBSD), en las que es crucial evitar que se mezcle la información del recubrimiento y de la muestra.
Ventajas del recubrimiento por pulverización catódica:
