Para conseguir un alto vacío, se suele utilizar una combinación de bombas, siendo una bomba turbomolecular o una bomba de difusión de aceite la opción principal para niveles de vacío elevados. Estas bombas están especializadas en alcanzar presiones muy bajas y suelen utilizarse en serie con una prebomba, como una bomba rotativa de paletas o una bomba scroll seca.
Bombas turbomoleculares:
Las bombas turbomoleculares están diseñadas para funcionar a niveles de vacío muy altos, normalmente por debajo de 10^-7 mbar. Funcionan utilizando paletas giratorias para dar impulso a las moléculas de gas en dirección opuesta a la del flujo de gas, bombeando el gas fuera del sistema. Estas bombas son muy eficaces en la eliminación de gases y se suelen utilizar en aplicaciones que requieren vacío ultraalto, como la fabricación de semiconductores, la investigación científica y las cámaras de simulación espacial.Bombas de difusión de aceite:
Las bombas de difusión de aceite son otro tipo de bomba utilizada para aplicaciones de alto vacío. Funcionan dirigiendo un chorro de vapor de aceite a alta velocidad contra las paredes de una cámara, que luego se condensa y vuelve a la caldera. Las moléculas de gas de la cámara son impulsadas por los chorros de vapor de aceite hacia una salida donde son recogidas y eliminadas. Estas bombas pueden alcanzar niveles de vacío de hasta 10^-7 mbar y se utilizan a menudo en aplicaciones científicas e industriales donde se requiere un alto vacío.
Tanto las bombas turbomoleculares como las de difusión de aceite necesitan una bomba de apoyo (como una bomba rotativa de paletas) para mantener una presión lo suficientemente baja en su entrada como para funcionar eficazmente. La bomba de apoyo crea un vacío aproximado, que la bomba de alto vacío refina para alcanzar las presiones ultrabajas deseadas.
