El recubrimiento de oro para SEM (microscopía electrónica de barrido) es crucial para mejorar la calidad de la imagen y evitar daños en la muestra.
5 puntos clave del recubrimiento de oro para SEM
1. Gama de espesores
El espesor típico del revestimiento de oro para aplicaciones SEM oscila entre 2 y 20 nanómetros (nm).
2. Proceso de recubrimiento por pulverización catódica
Esta capa ultrafina de oro se aplica mediante un proceso denominado recubrimiento por pulverización catódica.
3. 3. Finalidad del recubrimiento
El objetivo principal de este recubrimiento es evitar la carga de la muestra y mejorar la detección de electrones secundarios.
4. Ventajas del oro
El oro es el material más utilizado debido a su baja función de trabajo, lo que lo hace muy eficaz para el recubrimiento.
5. 5. Aplicaciones específicas
En aplicaciones específicas, como el recubrimiento de una oblea de 6" con oro/paladio (Au/Pd), se utilizó un espesor de 3 nm.
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