El recubrimiento por pulverización catódica para SEM consiste en depositar una fina capa de material conductor sobre una muestra para mejorar su conductividad, reducir los efectos de la carga eléctrica y mejorar la emisión secundaria de electrones. Esto se consigue mediante un proceso denominado pulverización catódica, en el que una descarga luminosa entre un cátodo y un ánodo en un entorno gaseoso (normalmente argón) erosiona el material objetivo del cátodo (normalmente oro o platino). A continuación, los átomos pulverizados se depositan uniformemente sobre la superficie de la muestra, preparándola para su análisis en un microscopio electrónico de barrido.
Proceso de pulverización catódica:
El proceso de pulverización catódica comienza con la formación de una descarga luminosa entre un cátodo (que contiene el material objetivo) y un ánodo en una cámara llena de gas argón. El gas argón se ioniza, creando iones de argón cargados positivamente. Estos iones son acelerados hacia el cátodo por el campo eléctrico y, al impactar, desprenden átomos de la superficie del cátodo por transferencia de momento. Esta erosión del material del cátodo se conoce como pulverización catódica.Deposición de átomos pulverizados:
Los átomos pulverizados viajan en todas direcciones y acaban depositándose en la superficie de la muestra colocada cerca del cátodo. Esta deposición suele ser uniforme, formando una fina capa conductora. La uniformidad de la capa es crucial para el análisis por SEM, ya que garantiza que la superficie de la muestra esté cubierta de manera uniforme, reduciendo el riesgo de carga y mejorando la emisión de electrones secundarios.
Ventajas para el SEM:
La capa conductora que proporciona el revestimiento por pulverización catódica ayuda a disipar la acumulación de carga causada por el haz de electrones en SEM, lo que es especialmente importante para las muestras no conductoras. También mejora el rendimiento de electrones secundarios, lo que se traduce en un mayor contraste y resolución de la imagen. Además, el revestimiento puede proteger la muestra de daños térmicos al alejar el calor de la superficie.Mejoras tecnológicas:
