El haz de electrones en la evaporación por haz de electrones (E-beam) se utiliza para calentar y vaporizar una muestra dentro de un entorno de vacío.
Explicación de los 4 pasos clave
1. Generación y dirección del haz de electrones
El haz de electrones se genera a partir de un filamento.
Se acelera hasta alcanzar una alta energía cinética (hasta 10 kV) a través de un campo eléctrico de alto voltaje.
Se utilizan campos eléctricos y magnéticos para dirigir el haz con precisión sobre el material fuente.
El material fuente suele estar en forma de pastillas o de un bloque colocado en un crisol.
2. Transferencia de energía y vaporización
Cuando el haz de electrones incide sobre el material fuente, su energía cinética se convierte en calor.
Esto aumenta la temperatura del material.
A medida que el material se calienta, los átomos de su superficie adquieren suficiente energía para superar las fuerzas de unión que los mantienen unidos al material.
Esto hace que abandonen la superficie en forma de vapor.3. Evaporación y deposiciónLos átomos o moléculas vaporizados atraviesan la cámara de vacío con energía térmica (menos de 1 eV).No son perturbados por otras partículas, lo que garantiza una deposición "en línea de visión" sobre un sustrato situado a una distancia de trabajo de 300 mm a 1 metro.
