El recubrimiento por pulverización catódica en SEM consiste en aplicar una capa ultrafina de metal conductor de la electricidad sobre muestras no conductoras o poco conductoras. Este proceso es crucial para evitar la carga de las muestras y mejorar la relación señal/ruido en las imágenes de SEM. El recubrimiento, que suele tener un grosor de entre 2 y 20 nm, se aplica mediante una técnica que consiste en generar un plasma metálico y depositarlo sobre la muestra.
Explicación detallada:
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Finalidad del recubrimiento por pulverización catódica:
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El recubrimiento por pulverización catódica se utiliza principalmente para resolver el problema de la carga de la muestra en SEM. Los materiales no conductores pueden acumular campos eléctricos estáticos cuando se exponen al haz de electrones, lo que distorsiona la imagen y puede dañar la muestra. Aplicando una capa conductora, como oro, platino o sus aleaciones, la carga se disipa, garantizando una imagen clara y sin distorsiones.Técnica y proceso:
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El proceso de recubrimiento por pulverización catódica consiste en crear un plasma metálico mediante descarga luminosa, en la que el bombardeo iónico de un cátodo erosiona el material. A continuación, los átomos pulverizados se depositan sobre la muestra, formando una fina película conductora. Este proceso se controla cuidadosamente para garantizar un recubrimiento uniforme y consistente, utilizando a menudo equipos automatizados para mantener una alta precisión y calidad.
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Ventajas para la obtención de imágenes SEM:
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Además de evitar la carga, el recubrimiento por pulverización catódica también mejora la emisión de electrones secundarios desde la superficie de la muestra. Este aumento del rendimiento de los electrones secundarios mejora la relación señal/ruido, lo que permite obtener imágenes más claras y detalladas. Además, el revestimiento conductor puede ayudar a reducir el daño térmico de la muestra al eliminar el calor generado por el haz de electrones.Tipos de metales utilizados:
Los metales más utilizados para el recubrimiento por pulverización catódica son el oro (Au), el oro/paladio (Au/Pd), el platino (Pt), la plata (Ag), el cromo (Cr) y el iridio (Ir). La elección del metal depende de factores como las propiedades de la muestra y los requisitos específicos del análisis SEM.Espesor del revestimiento:
