Piezas de deposición de película fina
Crisol de haz de pistola de electrones
Número de artículo : KES01
El precio varía según specs and customizations
- Material
- Tantalio / Molibdeno / Tungsteno
- Especificación
- 4CC/7CC/15CC/25CC/40CC
Envío:
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El cañón de electrones produce un poderoso haz de electrones que se dirige al crisol. Los electrones calientan el material en el crisol hasta que se convierte en átomos o agrupaciones moleculares. Luego, esta nube se puede depositar sobre una superficie para formar una película delgada. En la evaporación por haz de electrones, el crisol es como un recipiente que contiene y calienta el material que se va a depositar. Está hecho de un material especial que puede soportar altas temperaturas sin derretirse. Ayudan a concentrar el calor en el material que se está evaporando.
Se utiliza principalmente para lo siguiente:
- Deposición de película delgada: Ampliamente utilizado en tecnologías de deposición de película delgada, como la evaporación por haz de electrones, la producción de película delgada de dispositivos electrónicos, el recubrimiento óptico y la modificación de la superficie de los materiales.
- Industria de semiconductores: deposición de películas metálicas delgadas como interconexiones, contactos óhmicos y barreras de difusión.
- Óptica y Optoelectrónica: Recubrimientos ópticos, recubrimientos antirreflectantes y espejos para diversos dispositivos ópticos.
Detalle y piezas
Especificaciones técnicas
| producto | Crisol de molibdeno/tungsteno | Crisol de nitruro de boro/crisol de nitruro de boro conductor | Crisol de grafito/Crisol de grafito revestido | Crisoles recubiertos de grafito pirolítico | Crisol de níquel | Crisol de titanio | crisol de cobre | Crisol de alúmina |
| Especificación | 4CC/7CC/15CC/25CC/40CC | 4CC/7CC/15CC/25CC/40CC | 4CC/7CC/15CC/25CC/40CC | 4CC / 7CC | 4CC | 4CC | 4CC / 2CC / 40CC | 4CC |
Los crisoles que mostramos están disponibles en diferentes tamaños y los tamaños personalizados están disponibles bajo pedido.
Ventaja
- Mayor tasa de evaporación.
- Mejorar la estabilidad al calor; calentamiento uniforme.
- Reducir el calor transferido al crisol; Buen rendimiento de aislamiento térmico.
- Permite cambios rápidos de material para minimizar el tiempo de inactividad de la cámara.
- Compatibilidad con vacío; membrana de alta pureza.
- Versatilidad; admite múltiples materiales.
- Minimiza el daño y el mantenimiento del crisol.
- Estas ventajas hacen que el crisol de haz de cañón de electrones sea una herramienta importante en el proceso de deposición de película delgada, proporcionando un control preciso, una alta tasa de deposición y una película delgada de alta calidad para diversas industrias y campos de investigación.
FAQ
Comparación de la evaporación térmica y la evaporación por haz de electrones.
¿Cuáles son los materiales comunes utilizados para los crisoles de evaporación?
¿Cuáles son las ventajas de utilizar crisoles evaporadores?
¿Cómo se deben manipular y mantener los crisoles de evaporación?
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