El proceso de evaporación comienza colocando material (normalmente pellets, alambres o gránulos) en un crisol. El elemento calefactor aumenta la temperatura del crisol, provocando la sublimación o evaporación del material. A continuación, el material evaporado se desplaza en línea recta hacia el sustrato, donde se condensa y forma una fina película. El sustrato se coloca cuidadosamente para recibir el material evaporado y puede girarse o inclinarse para garantizar una deposición uniforme en toda su superficie.
Las fuentes de evaporación térmica se utilizan ampliamente en diversos sectores, como la fabricación de semiconductores, la óptica, la tecnología de visualización y los revestimientos. Ofrecen sencillez, versatilidad y capacidad para depositar una amplia gama de materiales, como metales, aleaciones, óxidos y compuestos orgánicos. El proceso puede controlarse fácilmente para conseguir velocidades de deposición, espesores de película y composiciones precisas.
Para aumentar el rendimiento y la eficacia de la fuente de evaporación térmica, pueden combinarse otras funciones. Éstas pueden incluir mecanismos de obturación para controlar el proceso de deposición, cámaras de eyección para evaporar materiales a temperaturas más bajas, o escudos térmicos para minimizar la pérdida de calor y mejorar la uniformidad de la temperatura.
En resumen, las fuentes de evaporación térmica son un componente importante del proceso de deposición física de vapor utilizado para depositar películas finas de materiales sobre sustratos. Constan de un crisol o bote, un elemento calefactor y un sistema de control de la temperatura. La evaporación térmica es una tecnología común utilizada en diversas industrias, que permite un control preciso de la velocidad de deposición, el espesor de la película y su composición.
