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Recubrimiento de evaporación por haz de electrones Crisol de nitruro de boro conductivo (crisol BN)

Piezas de deposición de película fina

Recubrimiento de evaporación por haz de electrones Crisol de nitruro de boro conductivo (crisol BN)

Número de artículo : KES03

El precio varía según Especificaciones y personalizaciones


Material
Nitruro de boro
Especificación
35-64,5 mm*17-35 mm
ISO & CE icon

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Solicitud

Los crisoles de nitruro de boro conductivo son crisoles suaves de alta pureza diseñados para recubrimientos de evaporación por haz de electrones. Tiene una excelente resistencia a altas temperaturas y rendimiento de ciclo térmico, y no reacciona con varios metales y tierras raras cerámicas. El crisol permanece intacto incluso en condiciones de calentamiento y enfriamiento rápidos. Tiene aplicaciones en la fusión de aleaciones, la sinterización de tierras raras y cerámicas y el recubrimiento por evaporación de haz de electrones. A menudo se usa en procesos de evaporación térmica, como el calentamiento por inducción de alta frecuencia, el revestimiento, el revestimiento por evaporación con haz de electrones, el revestimiento de aluminio y el revestimiento de silicio.

El crisol de nitruro de boro conductivo tiene alta pureza, alto acabado y excelente rendimiento de recubrimiento por evaporación de haz de electrones. Pueden aumentar las tasas de evaporación, acelerar el cambio de material, mejorar la estabilidad térmica y reducir los requisitos de energía, lo que en última instancia aumenta la productividad y la rentabilidad.

Detalle y piezas

Detalle de crisol de nitruro de boro conductor de revestimiento de evaporación de haz de electrones

Detalle de crisol de nitruro de boro conductor de revestimiento de evaporación de haz de electrones 2

Detalles del crisol de nitruro de boro conductivo con revestimiento de evaporación por haz de electrones3

Especificaciones técnicas

Diámetro externo 35 mm 40 mm 45 mm 50 mm 64,5 mm
Alto 17 mm 20 mm 22,5 mm 25 mm 35 mm

Los crisoles que mostramos están disponibles en diferentes tamaños y los tamaños personalizados están disponibles bajo pedido.

Ventaja

  • La película tiene buen acabado, alta pureza, menos contaminación y larga vida útil.
  • Excelente resistencia a altas temperaturas, resistencia al ciclo de calor.
  • Baja expansión térmica, resiste la humectación de la mayoría de los metales fundidos.
  • Resistencia al calor hasta 2000 ℃, el nitruro de boro no reacciona con el aluminio y no es fácil de volatilizar.
  • Aumento de la tasa de evaporación; El aumento de la tasa de evaporación reduce el tiempo del ciclo y aumenta el rendimiento general.
  • Cambio de material rápido; Los crisoles de nitruro de boro conductivo facilitan el cambio rápido de material, lo que minimiza el tiempo de inactividad de la cámara y aumenta la eficiencia del proceso.
  • Estabilidad térmica mejorada; Estos crisoles tienen una mayor estabilidad térmica, lo que reduce la transferencia de calor desde el propio crisol y garantiza una evaporación constante y controlada.

FAQ

¿Cuáles Son Las Aplicaciones De Las Piezas Cerámicas De Nitruro De Boro?

Las piezas cerámicas de nitruro de boro encuentran aplicaciones en diversas industrias. Se utilizan habitualmente en entornos de alta temperatura, como en sistemas de gestión térmica, crisoles, calentadores y aisladores. Debido a su excelente conductividad térmica, las piezas cerámicas de nitruro de boro se utilizan como disipadores de calor, sustratos para dispositivos electrónicos y componentes de electrónica de alta potencia. También se utilizan en la industria aeroespacial para aplicaciones que requieren ligereza y resistencia a altas temperaturas, como boquillas de cohetes y escudos térmicos. Las piezas cerámicas de nitruro de boro también se utilizan en la industria de los semiconductores como portadores de obleas, crisoles para el crecimiento de cristales y aislantes. Además, encuentran aplicaciones en la industria química, donde su inercia química y su resistencia a la corrosión los hacen adecuados para el manejo de materiales corrosivos.

¿Qué Son Las Fuentes De Evaporación Térmica?

Las fuentes de evaporación térmica son dispositivos utilizados en los sistemas de evaporación térmica para depositar películas finas sobre sustratos. Funcionan calentando un material (evaporante) a altas temperaturas, lo que provoca su evaporación y posterior condensación sobre un sustrato, formando una película fina.

¿Qué Es La Deposición Física De Vapor (PVD)?

La deposición física de vapor (PVD) es una técnica para depositar películas delgadas al vaporizar un material sólido en el vacío y luego depositarlo sobre un sustrato. Los recubrimientos PVD son muy duraderos, resistentes a los arañazos y a la corrosión, lo que los hace ideales para una variedad de aplicaciones, desde células solares hasta semiconductores. PVD también crea películas delgadas que pueden soportar altas temperaturas. Sin embargo, PVD puede ser costoso y el costo varía según el método utilizado. Por ejemplo, la evaporación es un método de PVD de bajo costo, mientras que la pulverización catódica de haz de iones es bastante costosa. La pulverización catódica con magnetrón, por otro lado, es más costosa pero más escalable.

¿Cuáles Son Las Ventajas De Utilizar Piezas Cerámicas De Nitruro De Boro?

El uso de piezas cerámicas de nitruro de boro ofrece varias ventajas. En primer lugar, su alta conductividad térmica permite una transferencia de calor eficiente, lo que los hace ideales para aplicaciones que requieren disipación de calor o gestión térmica. En segundo lugar, las cerámicas de nitruro de boro exhiben excelentes propiedades de aislamiento eléctrico, lo que las hace adecuadas para aplicaciones eléctricas y electrónicas. Tienen una baja pérdida dieléctrica y una alta rigidez dieléctrica, lo que permite un aislamiento eléctrico fiable incluso a altas temperaturas. Además, las piezas cerámicas de nitruro de boro tienen un bajo coeficiente de fricción, lo que proporciona una excelente lubricación y resistencia al desgaste en aplicaciones donde se desea una baja fricción. También son químicamente inertes, lo que los hace resistentes a la mayoría de los ácidos, álcalis y metales fundidos. Las piezas cerámicas de nitruro de boro pueden soportar altas temperaturas sin deformaciones o degradación significativas, lo que las hace adecuadas para su uso en entornos extremos.

¿Cuáles Son Los Principales Tipos De Fuentes De Evaporación Térmica?

Los principales tipos de fuentes de evaporación térmica son las fuentes de evaporación resistiva, las fuentes de evaporación por haz de electrones y las fuentes de evaporación flash. Cada tipo utiliza diferentes métodos para calentar el evaporante, como el calentamiento resistivo, el calentamiento por haz de electrones o el contacto directo con una superficie caliente.

¿Qué Es La Pulverización Catódica Con Magnetrón?

La pulverización catódica con magnetrón es una técnica de recubrimiento basada en plasma que se utiliza para producir películas muy densas con una excelente adherencia, lo que la convierte en un método versátil para crear recubrimientos en materiales que tienen puntos de fusión altos y no se pueden evaporar. Este método genera un plasma confinado magnéticamente cerca de la superficie de un objetivo, donde los iones energéticos con carga positiva chocan con el material del objetivo con carga negativa, lo que hace que los átomos sean expulsados o "pulverizados". Estos átomos expulsados luego se depositan en un sustrato u oblea para crear el recubrimiento deseado.

¿Qué Es El Objetivo De Pulverización Catódica?

Un objetivo de pulverización catódica es un material utilizado en el proceso de deposición por pulverización catódica, que consiste en romper el material objetivo en partículas diminutas que forman un rocío y recubren un sustrato, como una oblea de silicio. Los objetivos de pulverización catódica suelen ser elementos metálicos o aleaciones, aunque hay algunos objetivos cerámicos disponibles. Vienen en una variedad de tamaños y formas, y algunos fabricantes crean objetivos segmentados para equipos de pulverización catódica más grandes. Los objetivos de pulverización tienen una amplia gama de aplicaciones en campos como la microelectrónica, las células solares de película delgada, la optoelectrónica y los revestimientos decorativos debido a su capacidad para depositar películas delgadas con alta precisión y uniformidad.

¿Qué Consideraciones Se Deben Tener Al Seleccionar Piezas Cerámicas De Nitruro De Boro?

Se deben tener en cuenta varias consideraciones al seleccionar piezas cerámicas de nitruro de boro. En primer lugar, se deben evaluar los requisitos específicos de la aplicación, como el rango de temperatura, las propiedades de aislamiento eléctrico, la conductividad térmica, la resistencia mecánica y la resistencia química. Esto ayudará a determinar el grado o la formulación adecuada de cerámica de nitruro de boro a seleccionar. En segundo lugar, se debe considerar el diseño y la geometría de la pieza cerámica para garantizar que pueda fabricarse utilizando los procesos y equipos disponibles. También se deben tener en cuenta las tolerancias dimensionales y los requisitos de acabado superficial. Además, se debe considerar el costo y la disponibilidad de las piezas cerámicas de nitruro de boro, ya que los diferentes procesos de fabricación y grados de nitruro de boro pueden variar en costo. Es recomendable consultar con fabricantes o expertos en la materia para garantizar que las piezas cerámicas de nitruro de boro seleccionadas cumplan con los requisitos específicos de la aplicación.

¿Cómo Funcionan Las Fuentes De Evaporación Térmica?

Las fuentes de evaporación térmica funcionan haciendo pasar corriente eléctrica a través de un material resistivo, que se calienta hasta alcanzar altas temperaturas. Este calor se transfiere al evaporante, provocando su fusión y vaporización. A continuación, el vapor atraviesa una cámara de vacío y se condensa en un sustrato, formando una fina película.

¿Por Qué Pulverizar Con Magnetrón?

Se prefiere la pulverización catódica con magnetrón debido a su capacidad para lograr una alta precisión en el espesor de la película y la densidad de los recubrimientos, superando a los métodos de evaporación. Esta técnica es especialmente adecuada para crear recubrimientos metálicos o aislantes con propiedades ópticas o eléctricas específicas. Además, los sistemas de pulverización catódica con magnetrones se pueden configurar con múltiples fuentes de magnetrones.

¿Cómo Se Fabrican Los Blancos De Pulverización Catódica?

Los objetivos de pulverización catódica se fabrican utilizando una variedad de procesos de fabricación según las propiedades del material objetivo y su aplicación. Estos incluyen fusión y laminado al vacío, prensado en caliente, proceso especial de sinterización a presión, prensado en caliente al vacío y métodos forjados. La mayoría de los materiales de destino de pulverización catódica se pueden fabricar en una amplia gama de formas y tamaños, siendo las formas circulares o rectangulares las más comunes. Los objetivos generalmente están hechos de elementos metálicos o aleaciones, pero también se pueden usar objetivos de cerámica. También hay disponibles objetivos de pulverización catódica compuestos, hechos de una variedad de compuestos que incluyen óxidos, nitruros, boruros, sulfuros, seleniuros, telururos, carburos, mezclas cristalinas y compuestas.

¿Qué Procesos De Fabricación Se Utilizan Para Producir Piezas Cerámicas De Nitruro De Boro?

Se pueden utilizar varios procesos de fabricación para producir piezas cerámicas de nitruro de boro. Los métodos más comunes incluyen el prensado en caliente, el prensado isostático en caliente (HIP) y la fundición en barbotina. El prensado en caliente implica compactar polvos de nitruro de boro a alta presión y temperatura para formar una cerámica densa. HIP implica someter el compacto en polvo de nitruro de boro a alta temperatura y presión en un ambiente de gas inerte para lograr una densidad aún mayor y eliminar cualquier porosidad restante. La fundición deslizante implica formar una suspensión de polvo de nitruro de boro y un aglutinante, verterlo en un molde y luego secar y cocer el cuerpo verde para producir la pieza cerámica final. Se pueden utilizar otros procesos, como extrusión, moldeo por inyección o mecanizado, para dar forma y terminar las piezas cerámicas de nitruro de boro, según la geometría y las especificaciones deseadas.

¿Cuáles Son Las Ventajas De Utilizar Fuentes De Evaporación Térmica?

Entre las ventajas de las fuentes de evaporación térmica se incluyen las altas velocidades de deposición, la buena direccionalidad, la excelente uniformidad y la compatibilidad con diversos materiales. También son relativamente sencillas y asequibles, lo que las hace adecuadas para una amplia gama de aplicaciones en la deposición de películas finas.

¿Cuáles Son Los Materiales Utilizados En La Deposición De Película Delgada?

La deposición de película delgada comúnmente utiliza metales, óxidos y compuestos como materiales, cada uno con sus ventajas y desventajas únicas. Se prefieren los metales por su durabilidad y facilidad de depósito, pero son relativamente caros. Los óxidos son muy duraderos, pueden soportar altas temperaturas y pueden depositarse a bajas temperaturas, pero pueden ser quebradizos y difíciles de manipular. Los compuestos ofrecen resistencia y durabilidad, pueden depositarse a bajas temperaturas y adaptarse para exhibir propiedades específicas.

La selección del material para un recubrimiento de película delgada depende de los requisitos de la aplicación. Los metales son ideales para la conducción térmica y eléctrica, mientras que los óxidos son efectivos para ofrecer protección. Los compuestos se pueden adaptar para satisfacer necesidades específicas. En última instancia, el mejor material para un proyecto en particular dependerá de las necesidades específicas de la aplicación.

¿Para Qué Se Utiliza El Objetivo De Pulverización Catódica?

Los objetivos de pulverización catódica se utilizan en un proceso llamado pulverización catódica para depositar películas delgadas de un material sobre un sustrato utilizando iones para bombardear el objetivo. Estos objetivos tienen una amplia gama de aplicaciones en varios campos, incluida la microelectrónica, las células solares de película delgada, la optoelectrónica y los revestimientos decorativos. Permiten la deposición de películas delgadas de materiales sobre una variedad de sustratos con alta precisión y uniformidad, lo que los convierte en una herramienta ideal para producir productos de precisión. Los objetivos de bombardeo iónico vienen en varias formas y tamaños y pueden especializarse para cumplir con los requisitos específicos de la aplicación.

¿Para Qué Aplicaciones Se Utilizan Las Fuentes De Evaporación Térmica?

Las fuentes de evaporación térmica se utilizan en diversas aplicaciones, como la producción de revestimientos ópticos, dispositivos semiconductores y diversos tipos de películas finas. Son especialmente útiles en industrias que requieren un control preciso de la deposición de materiales sobre sustratos.

¿Cuáles Son Los Métodos Para Lograr Una Deposición óptima De Película Delgada?

Para lograr películas delgadas con propiedades deseables, son esenciales objetivos de pulverización catódica y materiales de evaporación de alta calidad. La calidad de estos materiales puede verse influenciada por varios factores, como la pureza, el tamaño del grano y el estado de la superficie.

La pureza de los objetivos de pulverización catódica o los materiales de evaporación juega un papel crucial, ya que las impurezas pueden causar defectos en la película delgada resultante. El tamaño del grano también afecta la calidad de la película delgada, y los granos más grandes conducen a propiedades deficientes de la película. Además, la condición de la superficie es crucial, ya que las superficies ásperas pueden provocar defectos en la película.

Para lograr objetivos de pulverización catódica y materiales de evaporación de la más alta calidad, es crucial seleccionar materiales que posean alta pureza, tamaño de grano pequeño y superficies lisas.

Usos De La Deposición De Película Delgada

Películas delgadas a base de óxido de zinc

Las películas delgadas de ZnO encuentran aplicaciones en varias industrias, como la térmica, óptica, magnética y eléctrica, pero su uso principal es en recubrimientos y dispositivos semiconductores.

Resistencias de película delgada

Las resistencias de película delgada son cruciales para la tecnología moderna y se utilizan en receptores de radio, placas de circuitos, computadoras, dispositivos de radiofrecuencia, monitores, enrutadores inalámbricos, módulos Bluetooth y receptores de teléfonos celulares.

Películas delgadas magnéticas

Las películas delgadas magnéticas se utilizan en electrónica, almacenamiento de datos, identificación por radiofrecuencia, dispositivos de microondas, pantallas, placas de circuitos y optoelectrónica como componentes clave.

Películas finas ópticas

Los recubrimientos ópticos y la optoelectrónica son aplicaciones estándar de películas delgadas ópticas. La epitaxia de haz molecular puede producir dispositivos optoelectrónicos de película delgada (semiconductores), donde las películas epitaxiales se depositan átomo por átomo sobre el sustrato.

Películas finas de polímero

Las películas delgadas de polímero se utilizan en chips de memoria, células solares y dispositivos electrónicos. Las técnicas de deposición química (CVD) ofrecen un control preciso de los recubrimientos de película de polímero, incluida la conformidad y el espesor del recubrimiento.

Baterías de película delgada

Las baterías de película delgada alimentan dispositivos electrónicos, como dispositivos médicos implantables, y la batería de iones de litio ha avanzado significativamente gracias al uso de películas delgadas.

Recubrimientos de película delgada

Los recubrimientos de película delgada mejoran las características químicas y mecánicas de los materiales objetivo en diversas industrias y campos tecnológicos. Los recubrimientos antirreflectantes, los recubrimientos antiultravioleta o antiinfrarrojos, los recubrimientos antirrayas y la polarización de lentes son algunos ejemplos comunes.

Células solares de película delgada

Las células solares de película delgada son esenciales para la industria de la energía solar, ya que permiten la producción de electricidad relativamente barata y limpia. Los sistemas fotovoltaicos y la energía térmica son las dos principales tecnologías aplicables.

¿Qué Son Los Objetivos De Pulverización Catódica Para La Electrónica?

Los objetivos de pulverización para la electrónica son discos delgados o láminas de materiales como aluminio, cobre y titanio que se utilizan para depositar películas delgadas en obleas de silicio para crear dispositivos electrónicos como transistores, diodos y circuitos integrados. Estos objetivos se utilizan en un proceso denominado pulverización catódica, en el que los átomos del material objetivo se expulsan físicamente de la superficie y se depositan en un sustrato bombardeando el objetivo con iones. Los objetivos de pulverización catódica para la electrónica son esenciales en la producción de microelectrónica y, por lo general, requieren alta precisión y uniformidad para garantizar dispositivos de calidad.

Factores Y Parámetros Que Influyen En La Deposición De Películas Delgadas

Tasa de deposición:

La velocidad a la que se produce la película, normalmente medida en espesor dividido por el tiempo, es crucial para seleccionar una tecnología adecuada para la aplicación. Las tasas de deposición moderadas son suficientes para películas delgadas, mientras que las tasas de deposición rápidas son necesarias para películas gruesas. Es importante lograr un equilibrio entre la velocidad y el control preciso del espesor de la película.

Uniformidad:

La consistencia de la película sobre el sustrato se conoce como uniformidad, que generalmente se refiere al espesor de la película, pero también puede relacionarse con otras propiedades, como el índice de refracción. Es importante tener una buena comprensión de la aplicación para evitar la uniformidad de especificación insuficiente o excesiva.

Capacidad de llenado:

La capacidad de relleno o cobertura escalonada se refiere a qué tan bien el proceso de deposición cubre la topografía del sustrato. El método de deposición utilizado (p. ej., CVD, PVD, IBD o ALD) tiene un impacto significativo en la cobertura y el relleno del paso.

Características de la película:

Las características de la película dependen de los requisitos de la aplicación, que pueden categorizarse como fotónicos, ópticos, electrónicos, mecánicos o químicos. La mayoría de las películas deben cumplir con los requisitos en más de una categoría.

Temperatura de proceso:

Las características de la película se ven significativamente afectadas por la temperatura del proceso, que puede estar limitada por la aplicación.

Daño:

Cada tecnología de deposición tiene el potencial de dañar el material sobre el que se deposita, y las características más pequeñas son más susceptibles al daño del proceso. La contaminación, la radiación ultravioleta y el bombardeo de iones se encuentran entre las posibles fuentes de daño. Es crucial entender las limitaciones de los materiales y herramientas.

¿Cuál Es La Vida útil De Un Objetivo De Pulverización Catódica?

La vida útil de un objetivo de pulverización catódica depende de factores como la composición del material, la pureza y la aplicación específica para la que se utiliza. En general, los objetivos pueden durar de varios cientos a miles de horas de pulverización catódica, pero esto puede variar ampliamente según las condiciones específicas de cada ejecución. La manipulación y el mantenimiento adecuados también pueden prolongar la vida útil de un objetivo. Además, el uso de objetivos de pulverización catódica rotativa puede aumentar los tiempos de ejecución y reducir la aparición de defectos, lo que los convierte en una opción más rentable para procesos de gran volumen.
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