Una bomba de vacío de difusión es un tipo de bomba de vacío que funciona sin piezas móviles, utilizando el vapor de un fluido en ebullición para capturar y eliminar moléculas de aire de una cámara, alcanzando así altos niveles de vacío que oscilan entre 10^-2 y 10^-10 torr. Este tipo de bomba es distinto de las bombas mecánicas, que utilizan mecanismos físicos como pistones o aletas para desplazar el aire. Las bombas de difusión se clasifican como bombas de arrastre de fluidos, en las que el vapor del fluido de trabajo actúa para atrapar moléculas de aire, que luego son dirigidas y enfriadas, liberando las moléculas de aire en un lugar diferente. Este proceso es crucial en diversas aplicaciones industriales, como la microscopía de haz electrónico, la deposición en vacío, los revestimientos y los hornos de vacío.
El funcionamiento de una bomba de vacío de difusión implica el uso de una bomba de retención para mantener una presión baja en la línea de entrada, garantizando que los aceites de la bomba no retrocedan a la cámara. Esto se consigue mediante un bombeo de vacío automático y enclavado, combinado con la secuencia adecuada de las válvulas de vacío. El diseño y el funcionamiento de la bomba están optimizados para evitar la contaminación de la cámara de vacío con el fluido de la bomba, lo cual es esencial para mantener la integridad del entorno de vacío.
En los sistemas de vacío, las bombas de difusión se utilizan a menudo junto con otros tipos de bombas, como las bombas mecánicas o rotativas de paletas, para alcanzar el nivel de vacío deseado. Las bombas mecánicas suelen utilizarse para el bombeo inicial desde la presión atmosférica hasta un nivel intermedio, mientras que las bombas de difusión se emplean para alcanzar presiones inferiores a las que pueden generar las bombas mecánicas por sí solas. Esta combinación de bombas es habitual en hornos de vacío y otras aplicaciones de alto vacío en las que es fundamental mantener un entorno de vacío limpio y estable.
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