Una bomba de vacío de difusión es un tipo de bomba de vacío que funciona según el principio de difusión de gas para alcanzar altos niveles de vacío.A diferencia de las bombas mecánicas, no utiliza piezas móviles para comprimir el gas.En su lugar, utiliza un chorro de vapor de alta velocidad (a menudo aceite o mercurio) para arrastrar las moléculas de gas y dirigirlas hacia el escape, creando una diferencia de presión.Este proceso permite a la bomba alcanzar presiones extremadamente bajas, lo que la hace adecuada para aplicaciones de alto vacío en industrias como la fabricación de semiconductores, laboratorios de investigación y simulación espacial.Las bombas de vacío difusoras suelen combinarse con una bomba de apoyo, como una bomba de vacío de membrana. bomba de vacío de membrana para manejar rangos de presión más altos antes de que la bomba de difusión tome el relevo.
Explicación de los puntos clave:

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Principio de funcionamiento de una bomba de vacío de difusión:
- Las bombas de vacío de difusión funcionan utilizando un chorro de vapor de alta velocidad (normalmente aceite o mercurio) para arrastrar las moléculas de gas de la cámara de vacío.
- El chorro de vapor crea un gradiente de presión, dirigiendo las moléculas de gas hacia el escape, donde son eliminadas por una bomba de respaldo.
- Este proceso no depende de la compresión mecánica, por lo que resulta adecuado para alcanzar niveles de vacío ultraelevados.
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Componentes clave:
- Fuente de vapor:La bomba utiliza un fluido calentado (aceite o mercurio) para generar el chorro de vapor.
- Sistema de boquillas:El vapor se dirige a través de boquillas para crear el chorro de alta velocidad.
- Sistema de refrigeración:Un mecanismo de refrigeración vuelve a condensar el vapor en líquido, lo que permite reutilizarlo.
- Bomba de respaldo:A bomba de vacío de diafragma o un dispositivo similar para reducir la presión a un nivel en el que la bomba de difusión pueda funcionar eficazmente.
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Ventajas:
- Altos niveles de vacío:Las bombas de difusión pueden alcanzar presiones tan bajas como 10^-7 a 10^-10 Torr, lo que las hace ideales para aplicaciones de alto vacío.
- Sin piezas móviles:La ausencia de componentes mecánicos reduce el desgaste, lo que se traduce en una menor necesidad de mantenimiento.
- Resistencia química:Cuando se utilizan fluidos químicamente estables, estas bombas pueden manejar gases corrosivos.
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Aplicaciones:
- Fabricación de semiconductores:Utilizados en procesos como la deposición de películas finas y el grabado, donde el alto vacío es crítico.
- Laboratorios de investigación:Ideal para experimentos que requieren vacío ultraalto, como la ciencia de superficies y la física de partículas.
- Simulación espacial:Se utiliza para reproducir las condiciones de vacío del espacio para probar componentes de naves espaciales.
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Comparación con las bombas de vacío de membrana:
- Mientras que las bombas de difusión destacan en aplicaciones de alto vacío, las bombas de vacío de membrana son más adecuadas para niveles de vacío bajos y medios.
- Las bombas de diafragma no contienen aceite y son resistentes a los productos químicos, por lo que son ideales para aplicaciones en las que la contaminación es un problema, como en las industrias alimentaria, cosmética y química.
- Las bombas de difusión requieren una bomba de respaldo, a menudo una bomba de diafragma, para manejar rangos de presión más altos antes de que puedan funcionar eficazmente.
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Mantenimiento y limitaciones:
- Las bombas de difusión requieren un mantenimiento regular de los sistemas de calefacción y refrigeración para garantizar un funcionamiento eficaz.
- Son sensibles a la contaminación por partículas o gases reactivos, que pueden degradar el fluido de bombeo.
- El coste inicial de instalación es más elevado en comparación con otras bombas de vacío, pero las ventajas a largo plazo del alto rendimiento de vacío suelen justificar la inversión.
Al comprender estos puntos clave, un comprador puede tomar una decisión informada sobre si una bomba de vacío de difusión es adecuada para su aplicación específica, especialmente cuando se combina con una bomba de vacío de membrana para un rendimiento óptimo.
Cuadro recapitulativo:
Aspecto | Detalles |
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Principio de funcionamiento | Utiliza un chorro de vapor de alta velocidad para arrastrar las moléculas de gas, creando un vacío. |
Componentes clave | Fuente de vapor, sistema de boquillas, sistema de refrigeración y bomba de respaldo. |
Ventajas | Altos niveles de vacío, sin piezas móviles y resistencia química. |
Aplicaciones | Fabricación de semiconductores, laboratorios de investigación y simulación espacial. |
Comparación | Lo mejor para alto vacío; a menudo emparejado con bombas de diafragma para un uso óptimo. |
Mantenimiento | Requiere un mantenimiento regular de los sistemas de calefacción y refrigeración. |
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