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Horno de soldadura al vacío

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Introducción

Un horno de soldadura fuerte al vacío es un tipo de horno industrial que se utiliza para soldadura fuerte, un proceso de trabajo de metales que une dos piezas de metal utilizando un metal de aportación que se funde a una temperatura más baja que los metales base. Los hornos de soldadura fuerte al vacío se utilizan normalmente para aplicaciones de alta calidad donde se requiere una unión fuerte y limpia.

Los hornos de soldadura fuerte al vacío funcionan creando un vacío dentro de la cámara del horno, que elimina el oxígeno y otros gases que pueden interferir con el proceso de soldadura fuerte. Esto crea un ambiente limpio que promueve uniones fuertes y confiables. Los hornos de soldadura fuerte al vacío también son capaces de alcanzar temperaturas muy altas, lo que permite soldar una amplia variedad de metales, incluidos acero inoxidable, titanio y aluminio.

Detalles y parte

Horno de soldadura al vacío

Aplicaciones

Los hornos de soldadura fuerte al vacío se utilizan ampliamente en diversas industrias y aplicaciones debido a su capacidad para crear uniones fuertes y a prueba de fugas. Algunas de las principales áreas de aplicación incluyen:

  • Conjuntos de calefacción y refrigeración.
  • Intercambiadores de calor de microcanales
  • Componentes de aeronaves
  • Sensores
  • Dispositivos médicos
  • Componentes estructurales
  • Otros productos térmicos

Características

El horno de soldadura al vacío ofrece numerosos beneficios que mejoran su funcionalidad y valor para los clientes:

  • Uniformidad de temperatura excepcional: el diseño del horno garantiza un calentamiento uniforme en toda la cámara, lo que da como resultado resultados de soldadura consistentes y precisos.
  • Sistema de calefacción eficiente: el horno utiliza un sistema de calefacción de alto rendimiento que alcanza y mantiene rápidamente la temperatura deseada, reduciendo los tiempos de ciclo y aumentando la productividad.
  • Sistema de vacío avanzado: el horno está equipado con un sofisticado sistema de vacío que elimina eficazmente el oxígeno y otros contaminantes de la cámara, garantizando un entorno de soldadura limpio y controlado.
  • Interfaz fácil de usar: el horno presenta una interfaz intuitiva y fácil de usar que simplifica la operación y el monitoreo, minimizando la necesidad de una capacitación extensa.
  • Construcción robusta: el horno está construido con materiales y componentes duraderos, lo que garantiza longevidad y confiabilidad en entornos de laboratorio exigentes.

Principio

El horno de soldadura fuerte al vacío es un cuerpo de horno horizontal, compuesto por una carcasa de horno, un revestimiento de horno, un elemento calefactor, un tanque de horno, una bandeja de material, un sistema de vacío y un sistema de control electrónico. La carcasa del horno está soldada con placas de acero al carbono y perfiles de acero. Está revestido con ladrillos aislantes de alta calidad y ladrillos refractarios y está construido en tres zonas. Los elementos calefactores están hechos de alambre de hierro, cromo y aluminio y están dispuestos en forma de espiral sobre los ladrillos de alambre a ambos lados y en el fondo del horno. El sistema de vacío utiliza una bomba de vacío de tres etapas, que se compone de una unidad de vacío, una bomba de difusión de aceite, una bomba Roots, una bomba mecánica, una válvula deflectora neumática y una válvula de mariposa manual.

Ventajas

  • Uniones de alta calidad con mínimos huecos y excelentes propiedades mecánicas.
  • No se necesita fundente, lo que elimina la posible contaminación y la limpieza posterior a la soldadura fuerte
  • Reducción de oxidación e incrustaciones, lo que resulta en juntas más limpias.
  • Control preciso de la temperatura, que permite la unión de materiales con diferentes puntos de fusión.
  • Adecuado para unir componentes y conjuntos complejos
  • El proceso respetuoso con el medio ambiente con una mínima generación de residuos

Especificación técnica

Potencia nominal 100 kilovatios
Temperatura nominal 700 ℃
Fuente de alimentación 380 V, 50 Hz
Tamaño del área de trabajo Φ820×1700㎜
Vacío definitivo en frío 6,67×10-3Pa
Tasa de aumento de presión 2 pa/h
Precisión del control de temperatura ±1℃

FAQ

¿Para Qué Se Utiliza Un Horno De Vacío?

Un horno de vacío se utiliza para el procesamiento de materiales a alta temperatura en un entorno controlado sin contaminación. Funciona rodeando el producto con un vacío, lo que evita la oxidación y la pérdida de calor del producto por convección. Este horno se usa comúnmente para el tratamiento térmico de aleaciones de acero a temperaturas inferiores a 1200 °C. Los hornos de vacío de alta temperatura pueden alcanzar temperaturas de hasta 3000 °C y se utilizan para procesos industriales como sinterización, soldadura fuerte, recocido y tratamiento térmico con alta consistencia y baja contaminación. La capacidad de lograr un calentamiento uniforme en toda la pieza de trabajo es un beneficio clave del uso de un horno de vacío de alta temperatura.

¿Qué Es El Horno CVD?

La deposición química de vapor (CVD) es una tecnología que utiliza diversas fuentes de energía, como calentamiento, excitación de plasma o radiación de luz para hacer reaccionar químicamente sustancias químicas gaseosas o de vapor en la fase gaseosa o la interfaz gas-sólido para formar depósitos sólidos en el reactor por medio de reacción química. En pocas palabras, dos o más materias primas gaseosas se introducen en una cámara de reacción y luego reaccionan entre sí para formar un nuevo material y depositarlo en la superficie del sustrato.

El horno CVD es un sistema de horno combinado con unidad de horno tubular de alta temperatura, unidad de control de gases y unidad de vacío, es ampliamente utilizado para experimentar y producir preparación de materiales compuestos, proceso de microelectrónica, optoelectrónica de semiconductores, utilización de energía solar, comunicación de fibra óptica, superconductor tecnología, campo de recubrimiento protector.

¿Qué Son Los Hornos Dentales?

Un horno dental, también conocido como horno dental, es un equipo que se utiliza en la producción de restauraciones dentales de cerámica, como coronas, puentes, incrustaciones y onlays. El horno puede alcanzar altas temperaturas y presiones para procesar material cerámico en un estado final endurecido. Existen diferentes tipos de hornos dentales, incluidos los hornos combinados de cerámica, los hornos de sinterización y los hornos de glaseado. Los hornos dentales modernos están controlados por un microprocesador, lo que brinda el beneficio de la programabilidad y un sistema de memoria que puede recordar hasta 200 programas diferentes, todos los cuales pueden ser ejecutados con precisión por el usuario.

¿Qué Es Una Prensa De Laboratorio?

Una prensa de laboratorio, también conocida como prensa de laboratorio, es una máquina que se utiliza para crear gránulos comprimidos a partir de material en polvo para diversas aplicaciones, como el desarrollo farmacéutico, la espectroscopia y la bomba calorimétrica. Los polvos se colocan en una matriz y se presionan para darles forma mediante acción hidráulica. Las prensas de laboratorio pueden tener una amplia gama de presiones, de 15 a 200 toneladas métricas, y pueden adaptarse a una amplia gama de troqueles personalizados o de diferentes tamaños. Se utilizan comúnmente en industrias como la farmacéutica, laminadora, caucho y moldeado de plástico, y para trabajos de I+D, pruebas, tiradas cortas, producción limitada, fabricación de células y fabricación ajustada.

¿Cuáles Son Las Ventajas De La Soldadura Fuerte Al Vacío?

La soldadura fuerte al vacío ofrece varias ventajas sobre los métodos de soldadura tradicionales, entre ellas: - Eliminación del fundente, lo que da como resultado uniones más limpias - Prevención de la oxidación, lo que garantiza uniones de alta calidad - Control preciso de la temperatura, lo que permite la unión de componentes complejos

¿Qué Materiales Se Pueden Soldar Al Vacío?

La soldadura fuerte al vacío es adecuada para una amplia gama de materiales, incluidos: - Metales: acero, acero inoxidable, aluminio, cobre, titanio - Cerámicas: alúmina, circonio, nitruro de silicio - Compuestos: fibra de carbono, fibra de vidrio

¿Cuál Es La Diferencia Entre Un Horno De Vacío De Paredes Frías Y Uno De Paredes Calientes?

En un horno de paredes frías, los elementos calefactores se encuentran fuera de la cámara de vacío, mientras que en un horno de paredes calientes, los elementos calefactores se encuentran dentro de la cámara. Los hornos de paredes frías ofrecen una mejor uniformidad de temperatura y menores costos operativos, mientras que los hornos de paredes calientes brindan velocidades de calentamiento más rápidas.

¿Cuál Es El Proceso De Un Horno De Vacío?

El proceso de un horno de vacío consiste en cargar las piezas en la cámara y crear un vacío en su interior utilizando una bomba de vacío. El siguiente paso es calentar las piezas mediante controles de temperatura, que pueden alcanzar entre 1500 y 5400 grados Fahrenheit. Este proceso elimina la posibilidad de oxidación y contaminación, lo que da como resultado un producto final de mayor pureza. Después del calentamiento, las piezas se enfrían y se acaban antes de sacarlas del horno de vacío. El horno consta de varios componentes, incluido el sistema de vacío, la carcasa del horno, el elemento calefactor eléctrico, los controles de temperatura, el sistema de suministro de energía y el aparato de transporte.

¿Cuál Es El Propósito De Un Horno De Prensado En Caliente Al Vacío?

El propósito de un horno de prensado en caliente al vacío es combinar vacío o atmósfera, prensado en caliente y sinterización a alta temperatura para formar nuevos materiales. Se puede utilizar en la sinterización al vacío de cerámica transparente, cerámica industrial y metales, así como en la sinterización a alta temperatura de materiales cerámicos como el carburo de silicio y el nitruro de silicio. Adicionalmente, puede ser utilizado para el tratamiento térmico de polvos y compactos a una temperatura inferior al punto de fusión de los componentes principales, lo que mejora su resistencia a través de la combinación metalúrgica entre partículas. Los materiales terminados tienen propiedades mecánicas, electrónicas y térmicas mejoradas.

¿Qué Es El Proceso De Fusión Por Arco Al Vacío?

La fusión por arco al vacío (VAR) es un proceso de fusión secundario que se utiliza para producir lingotes de metal con alta homogeneidad química y mecánica para aplicaciones críticas en industrias como la aeroespacial, la energía y la nuclear. El proceso consiste en refinar el metal líquido al vacío y controlar su tasa de solidificación. Se utiliza para la purificación de aleaciones reactivas de titanio o zirconio, sin ningún contacto con refractarios de fundición, así como para mejorar la limpieza de inclusión en aceros y superaleaciones. Los lingotes cilíndricos refundidos pueden pesar varias toneladas, y el VAR ha revolucionado la industria de las técnicas metalúrgicas especializadas.

¿Cómo Funciona Un Horno De Fusión Por Inducción Al Vacío?

Un horno de fusión por inducción al vacío funciona mediante la utilización de inducción electromagnética en condiciones de vacío o atmósfera protectora para fundir metales y aleaciones que se combinan fácilmente o tienen una estrecha afinidad con el oxígeno, el nitrógeno y el hidrógeno. El horno contiene un crisol revestido de refractario encerrado por una bobina de inducción que genera una corriente de Foucault de calor en el material que se procesa. El sistema de vacío del horno erradica totalmente los gases de los metales fundidos, y el sistema de enfriamiento contribuye a la temperatura de fusión controlada. El horno es altamente confiable, brinda alta productividad y produce metales con tolerancias de composición muy estrechas.

¿Cómo Funciona El Horno CVD?

El sistema de horno CVD consta de una unidad de horno tubular de alta temperatura, una unidad de control preciso de la fuente de gas reaccionante, una estación de bomba de vacío y las piezas de montaje correspondientes.

La bomba de vacío es para eliminar el aire del tubo de reacción y asegurarse de que no haya gases no deseados dentro del tubo de reacción, después de eso, el horno tubular calentará el tubo de reacción a una temperatura objetivo, luego la unidad de control precisa de la fuente de gas de reacción puede introducir diferentes gases con una relación establecida en el tubo del horno para la reacción química, la deposición de vapor químico se formará en el horno CVD.

¿Cuáles Son Los Diferentes Tipos De Hornos Dentales?

Los diferentes tipos de hornos dentales incluyen hornos de cerámica, hornos combinados de cerámica, hornos de sinterización y hornos de glaseado. Los hornos de cerámica procesan cerámica convencional, los hornos de combinación de cerámica agregan la capacidad de operar bajo la presión necesaria para trabajar con cerámica prensable, los hornos de sinterización son capaces de alcanzar las temperaturas extremas requeridas para procesar zirconia y los hornos de glaseado se usan para fijar ciertos tintes y esmaltes. Al seleccionar un horno dental, es importante elegir uno que sea capaz de procesar los materiales utilizados en la práctica o el laboratorio, sea fácil de limpiar y tenga el mantenimiento adecuado.

¿Cuál Es El Propósito De Una Prensa Hidráulica En El Laboratorio?

Se utiliza una prensa hidráulica en el laboratorio para probar la resistencia y durabilidad de los materiales, investigar los efectos de la alta presión en diferentes sustancias y crear gránulos para el análisis de muestras. Es una máquina que utiliza la presión de un fluido para generar una fuerza, que se puede utilizar para comprimir o moldear materiales. Las prensas hidráulicas de laboratorio son versiones más pequeñas de máquinas industriales que ofrecen más precisión y control. Se utilizan comúnmente para crear gránulos de KBr para FTIR y gránulos de muestra generales para XRF con el fin de estudiar la composición elemental de los materiales.

¿Qué Gas Se Utiliza En Un Horno De Vacío?

Se pueden usar diferentes gases en un horno de vacío dependiendo de la aplicación. En general, los hornos de vacío pueden trabajar con gases o mezclas como Argón, Nitrógeno, Hidrógeno, Monóxido de Carbono, Helio, entre otros. El uso de estos gases permite el tratamiento térmico en una atmósfera definida, en su mayoría no oxidante, que se requiere para diversas aplicaciones, como soldadura y soldadura fuerte al vacío, recocido al vacío y sinterización. Además, es posible trabajar con una concentración de oxígeno definida que es diferente de la composición del aire.

¿Cuáles Son Las Ventajas De Un Horno De Prensado En Caliente Al Vacío?

Las ventajas de un horno de prensado en caliente al vacío incluyen la sinterización por prensado en caliente de polvos metálicos y cerámicos, la preparación de compuestos cerámicos/metálicos y compuestos intermetálicos, la investigación y el desarrollo del proceso de soldadura por difusión y la sinterización por prensado en caliente de densificación de compuestos de oxígeno/nitrógeno/boro/carbono y sus mezclas. La alta temperatura y presión bajo vacío o atmósfera ayudan a unir las partículas sólidas de las materias primas, disminuyen los vacíos y los límites de grano, y mejoran las propiedades mecánicas, electrónicas y térmicas de los materiales terminados.

¿Qué Es El Horno De Refundición Por Arco Al Vacío (VAR) VAR?

La refundición por arco al vacío o VAR es un proceso utilizado para refinar y mejorar la limpieza de los lingotes fabricados con aleaciones estándar fundidas por aire, fundidas por inducción al vacío o refundidas por ESR. Se utiliza para aceros, superaleaciones, titanio, circonio y sus aleaciones en industrias como la aeroespacial, generación de energía, defensa, médica y nuclear. VAR es un proceso continuo de refundición de un electrodo consumible al vacío, con energía de CC utilizada para generar un arco entre el electrodo y un molde de cobre. El proceso elimina los gases disueltos, reduce los elementos traza no deseados, mejora la limpieza del óxido y logra la solidificación direccional del lingote de abajo hacia arriba.

¿Cuáles Son Las Ventajas De La Fusión Por Inducción Al Vacío?

Las ventajas de la fusión por inducción al vacío (VIM) incluyen la eliminación de gases, un control superior del proceso, un control estricto del análisis químico, una fusión sin escoria y protección contra la fusión. VIM es actualmente la tecnología de calentamiento por inducción más eficiente energéticamente, más rápida, de bajo consumo y respetuosa con el medio ambiente para calentar materiales metálicos. La tecnología ofrece un control excepcional y reproducible de las composiciones que contienen elementos reactivos y elimina la necesidad de una cubierta protectora de escoria, lo que reduce el potencial de contaminación accidental o inclusiones en el lingote. El proceso se lleva a cabo en un ambiente de vacío, lo que lo hace beneficioso para eliminar las impurezas de gas dentro del metal, lo que da como resultado un material de aleación de metal más puro.

¿Qué Gas Se Utiliza En El Proceso De CVD?

Hay enormes fuentes de gas que se pueden usar en el proceso de CVD, las reacciones químicas comunes de CVD incluyen pirólisis, fotólisis, reducción, oxidación, redox, por lo que los gases involucrados en estas reacciones químicas se pueden usar en el proceso de CVD.

Tomamos el crecimiento de CVD Graphene como ejemplo, los gases utilizados en el proceso de CVD serán CH4, H2, O2 y N2.

¿Cuál Es La Temperatura De Un Horno Dental?

La temperatura de un horno dental normalmente oscila entre 600°C y 1600°C. El resultado de cocción obtenido está influenciado por la precisión de la temperatura real. Diferentes hornos dentales pueden tener pantallas digitales externas idénticas, pero se pueden identificar diferentes resultados con respecto al grado de cocción cuando se procesan las mismas cerámicas en condiciones similares. La Norma Internacional nivela las diferencias actualmente existentes entre la calibración final de los hornos dentales basados en la fábrica de origen mediante un ajuste final del control de temperatura en la cámara de cocción mediante un termopar a por ejemplo 800°C.

¿Cuáles Son Los Diferentes Tipos De Prensas De Laboratorio?

Los diferentes tipos de prensas de laboratorio incluyen prensas hidráulicas manuales, prensas hidráulicas automatizadas. Las prensas hidráulicas manuales usan palancas manuales para aplicar presión, mientras que las prensas automáticas están equipadas con controles programables para presionar los productos con mayor precisión y consistencia. Al seleccionar una prensa hidráulica, es importante considerar la cantidad de fuerza necesaria para una muestra específica, cuánto espacio se proporciona en el laboratorio y cuánta energía y fuerza se requiere para bombear la prensa.

¿Cuál Es El Elemento Calefactor Utilizado En Un Horno De Vacío?

El elemento calefactor en un horno de vacío es fundamental para su correcto funcionamiento y depende de factores como la temperatura máxima de funcionamiento, la carga de energía, la presión parcial y los gases de extinción, y la expectativa de vida. Los hornos de vacío se calientan mediante elementos de resistencia eléctrica hechos de una variedad de materiales, incluidas aleaciones metálicas de alta temperatura como acero inoxidable, níquel-cromo, molibdeno, tungsteno, tantalio o materiales no metálicos como grafito y carburo de silicio. La elección del material para el elemento calefactor es importante para maximizar su longevidad, confiabilidad, eficiencia y, en última instancia, los resultados del proceso.

¿Cómo Funciona Un Horno De Prensado En Caliente Al Vacío?

Un horno de prensado en caliente al vacío es un equipo que combina vacío, prensado en caliente y sinterización a alta temperatura. Funciona calentando y presurizando materiales bajo vacío o atmósfera para crear un cuerpo sinterizado policristalino compacto con propiedades mecánicas, electrónicas y térmicas mejoradas. El horno se compone de varios sistemas que incluyen el cuerpo del horno, el calentamiento y la preservación del calor, el sistema de medición de temperatura, el sistema de vacío, el sistema de carga de aire, el sistema de refrigeración por agua, el sistema de control y el sistema de presión. Los elementos calefactores pueden ser calentadores de grafito, calentadores de molibdeno o calentamiento por inducción, y se puede usar presurización unidireccional o bidireccional para la presurización hidráulica.

¿Cómo Funciona El Horno De Fusión Por Arco Al Vacío?

Un horno de fusión por arco al vacío funciona fundiendo materiales en una atmósfera de vacío o de baja presión utilizando arcos eléctricos. El horno utiliza dos electrodos, uno de los cuales es el material a fundir. Los electrodos se acercan y se produce un arco eléctrico entre ellos, lo que hace que el material se derrita. Luego se evacua el horno para eliminar cualquier impureza y el material fundido se moldea en la forma deseada. Este proceso se utiliza para la producción de metales, aleaciones e intermetálicos de alta pureza utilizados en industrias como la aeroespacial, la electrónica y la ingeniería biomédica.

¿Cómo Ayuda El Vacío En El Horno De Fusión Por Inducción?

Las condiciones de vacío son críticas en los hornos de fusión por inducción, ya que ayudan a eliminar los gases de los metales fundidos, evitando una oxidación rápida. La ausencia de gases durante el proceso de fusión garantiza la creación de tolerancias de composición muy estrechas, lo que da como resultado metales consistentes. El vacío también proporciona una atmósfera protectora para los metales que se combinan fácilmente o tienen una estrecha afinidad con el oxígeno, el nitrógeno y el hidrógeno. Los hornos de fusión por inducción al vacío utilizan la inducción electromagnética para fundir metales y aleaciones en un crisol con revestimiento refractario encerrado por una bobina de inducción, lo que crea corrientes de Foucault que hacen posible el proceso de fusión.

¿Cuál Es La Ventaja Del Sistema CVD?

  • Se puede producir una amplia gama de películas, películas metálicas, películas no metálicas y películas de aleación multicomponente, según se requiera. Al mismo tiempo, puede preparar cristales de alta calidad que son difíciles de obtener por otros métodos, como GaN, BP, etc.
  • La velocidad de formación de la película es rápida, normalmente varias micras por minuto o incluso cientos de micras por minuto. Es posible depositar simultáneamente grandes cantidades de recubrimientos con una composición uniforme, lo que es incomparable con otros métodos de preparación de películas, como la epitaxia en fase líquida (LPE) y la epitaxia de haz molecular (MBE).
  • Las condiciones de trabajo se llevan a cabo en condiciones de presión normal o bajo vacío, por lo que el recubrimiento tiene una buena difracción y las piezas de trabajo con formas complejas se pueden recubrir uniformemente, lo cual es muy superior al PVD.
  • Debido a la difusión mutua del gas de reacción, el producto de reacción y el sustrato, se puede obtener un recubrimiento con buena fuerza de adhesión, lo cual es crucial para preparar películas con superficie reforzada, como películas resistentes al desgaste y anticorrosión.
  • Algunas películas crecen a una temperatura mucho más baja que el punto de fusión del material de la película. En condiciones de crecimiento a baja temperatura, el gas de reacción y la pared del reactor y las impurezas contenidas en ellos casi no reaccionan, por lo que se puede obtener una película con alta pureza y buena cristalinidad.
  • La deposición de vapor químico puede obtener una superficie de deposición suave. Esto se debe a que, en comparación con LPE, la deposición química de vapor (CVD) se lleva a cabo en alta saturación, con alta tasa de nucleación, alta densidad de nucleación y distribución uniforme en todo el plano, lo que da como resultado una superficie lisa macroscópica. Al mismo tiempo, en la deposición química de vapor, el camino libre promedio de las moléculas (átomos) es mucho mayor que el LPE, por lo que la distribución espacial de las moléculas es más uniforme, lo que conduce a la formación de una superficie de deposición uniforme.
  • Bajo daño por radiación, que es una condición necesaria para la fabricación de semiconductores de óxido metálico (MOS) y otros dispositivos

¿Cuál Es El Uso Del Horno De Porcelana?

Un horno de porcelana se usa en odontología para crear porcelana dental, que es un material cerámico sin esmaltar que se usa para restauraciones dentales como coronas y carillas. El horno calienta el material cerámico hasta que es lo suficientemente suave para darle forma, y luego se enfría y se pule para crear el patrón de dientes deseado. Hay dos tipos principales de sistemas de hornos de porcelana dental: fuego directo o fuego prensado en frío, y fuego prensado en caliente o fundido por calor. La tecnología de cocción directa utiliza una fuente externa para disparar directamente el material cerámico, lo que la hace más rentable que las tecnologías de cocción indirecta.

¿Qué Es El Horno De Fusión Por Inducción Al Vacío?

Un horno de fusión por inducción al vacío es un horno metalúrgico que utiliza un campo electromagnético alterno para fundir y formar diversos materiales al vacío o en una atmósfera protectora. Es ampliamente utilizado en el campo de la metalurgia al vacío y es esencial para producir aleaciones y aceros especiales utilizados en las industrias aeroespacial, electrónica y de energía atómica. Los hornos de fusión por inducción al vacío también se utilizan para mejorar la trabajabilidad en caliente y las propiedades mecánicas de las superaleaciones a base de hierro, cobalto y níquel, así como para fundir acero inoxidable, acero resistente al calor, acero de ultra alta resistencia y varios otros materiales para garantizar su calidad y rendimiento.

¿Qué Significa PECVD?

PECVD es una tecnología que utiliza plasma para activar el gas de reacción, promover la reacción química en la superficie del sustrato o en el espacio cercano a la superficie y generar una película sólida. El principio básico de la tecnología de deposición de vapor químico de plasma es que, bajo la acción de un campo eléctrico de RF o CC, el gas de origen se ioniza para formar un plasma, el plasma de baja temperatura se utiliza como fuente de energía, se obtiene una cantidad adecuada de gas de reacción. introducido, y la descarga de plasma se utiliza para activar el gas de reacción y realizar la deposición de vapor químico.

Según el método de generación de plasma, se puede dividir en plasma de RF, plasma de CC y plasma de microondas CVD, etc...

¿Cuál Es La Diferencia Entre CVD Y PECVD?

La diferencia entre PECVD y la tecnología CVD tradicional es que el plasma contiene una gran cantidad de electrones de alta energía, que pueden proporcionar la energía de activación requerida en el proceso de deposición química de vapor, cambiando así el modo de suministro de energía del sistema de reacción. Dado que la temperatura de los electrones en el plasma es tan alta como 10000K, la colisión entre los electrones y las moléculas de gas puede promover la ruptura del enlace químico y la recombinación de las moléculas de gas de reacción para generar grupos químicos más activos, mientras que todo el sistema de reacción mantiene una temperatura más baja.

Entonces, en comparación con el proceso de CVD, PECVD puede llevar a cabo el mismo proceso de deposición de vapor químico con una temperatura más baja.

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