El recubrimiento por pulverización catódica para SEM suele tener un grosor de entre 2 y 20 nanómetros (nm).
Este recubrimiento ultrafino se aplica a muestras no conductoras o poco conductoras para evitar que se carguen y mejorar la relación señal/ruido durante la obtención de imágenes.
La elección del metal (como oro, plata, platino o cromo) depende de los requisitos específicos de la muestra y del tipo de análisis que se realice.
¿Cuál es el grosor del recubrimiento por pulverización catódica para SEM? (Explicación de 4 puntos clave)
1. Finalidad del recubrimiento por pulverización catódica
El recubrimiento por pulverización catódica es crucial para el SEM porque aplica una capa conductora a las muestras que no son conductoras o tienen una conductividad deficiente.
Este recubrimiento ayuda a evitar la acumulación de campos eléctricos estáticos, que pueden distorsionar la imagen o dañar la muestra.
Además, aumenta la emisión de electrones secundarios, mejorando así la calidad de las imágenes SEM.
2. Gama de espesores
El espesor típico de las películas bombardeadas para SEM oscila entre 2 y 20 nm.
Este rango se elige para garantizar que el recubrimiento sea lo suficientemente fino como para no oscurecer los detalles finos de la muestra, pero lo suficientemente grueso como para proporcionar una conductividad adecuada.
En el caso de los microscopios electrónicos de baja amplificación, los revestimientos de 10-20 nm son suficientes y no afectan a la obtención de imágenes.
Sin embargo, para SEM de mayor aumento con resoluciones inferiores a 5 nm, se prefieren revestimientos más finos (de hasta 1 nm) para evitar oscurecer los detalles de la muestra.
3. Tipos de materiales de recubrimiento
Los materiales más utilizados para el recubrimiento por pulverización catódica son el oro, la plata, el platino y el cromo.
Cada material tiene sus ventajas específicas en función de la muestra y del tipo de análisis.
Por ejemplo, el oro suele utilizarse por su excelente conductividad, mientras que el platino puede elegirse por su durabilidad.
En algunos casos, se prefieren los recubrimientos de carbono, especialmente para la espectroscopia de rayos X y la difracción de retrodispersión de electrones (EBSD), donde los recubrimientos metálicos podrían interferir con el análisis de la estructura de grano de la muestra.
4. Equipos y técnicas
La elección del equipo de recubrimiento por pulverización catódica también influye en la calidad y el grosor del recubrimiento.
Los recubridores por pulverización catódica básicos son adecuados para SEM de menor aumento y funcionan a niveles de vacío más bajos, depositando recubrimientos de 10-20 nm.
Los equipos de recubrimiento por pulverización catódica de gama alta, por el contrario, ofrecen niveles de vacío más elevados, entornos de gas inerte y un control preciso del grosor, lo que permite obtener recubrimientos muy finos (de hasta 1 nm), cruciales para los análisis SEM y EBSD de alta resolución.
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