El recubrimiento por pulverización catódica para SEM suele tener un grosor de entre 2 y 20 nanómetros (nm). Este recubrimiento ultrafino se aplica a muestras no conductoras o poco conductoras para evitar que se carguen y mejorar la relación señal/ruido durante la obtención de imágenes. La elección del metal (como oro, plata, platino o cromo) depende de los requisitos específicos de la muestra y del tipo de análisis que se realice.
Explicación detallada:
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Finalidad del recubrimiento por pulverización catódica:
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El recubrimiento por pulverización catódica es crucial para el SEM porque aplica una capa conductora a muestras que no son conductoras o que tienen una conductividad deficiente. Este recubrimiento ayuda a evitar la acumulación de campos eléctricos estáticos, que pueden distorsionar la imagen o dañar la muestra. Además, aumenta la emisión de electrones secundarios, mejorando así la calidad de las imágenes SEM.Gama de espesores:
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El espesor típico de las películas bombardeadas para SEM oscila entre 2 y 20 nm. Este rango se elige para garantizar que el recubrimiento sea lo suficientemente fino como para no oscurecer los detalles finos de la muestra, pero lo suficientemente grueso como para proporcionar una conductividad adecuada. En el caso de los microscopios electrónicos de baja amplificación, los revestimientos de 10-20 nm son suficientes y no afectan a la obtención de imágenes. Sin embargo, para SEM de mayor aumento con resoluciones inferiores a 5 nm, se prefieren revestimientos más finos (de hasta 1 nm) para evitar oscurecer los detalles de la muestra.
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Tipos de materiales de recubrimiento:
Los materiales más utilizados para el recubrimiento por pulverización catódica son el oro, la plata, el platino y el cromo. Cada material tiene sus ventajas específicas según la muestra y el tipo de análisis. Por ejemplo, el oro se utiliza a menudo por su excelente conductividad, mientras que el platino puede elegirse por su durabilidad. En algunos casos, se prefieren los recubrimientos de carbono, especialmente para la espectroscopia de rayos X y la difracción de electrones retrodispersados (EBSD), donde los recubrimientos metálicos podrían interferir en el análisis de la estructura de grano de la muestra.
Equipos y técnicas: