El proceso de crecimiento por deposición química en fase vapor (CVD) es una técnica utilizada para depositar películas finas de materiales sobre un sustrato mediante una serie de reacciones químicas en fase vapor. El proceso implica varios pasos clave: transporte de especies gaseosas reactivas a la superficie, adsorción de estas especies en la superficie, reacciones heterogéneas catalizadas por la superficie, difusión superficial de las especies a los lugares de crecimiento, nucleación y crecimiento de la película, y desorción de los productos gaseosos de la reacción.
Transporte de especies gaseosas reactivas a la superficie:
En el proceso CVD, los materiales precursores, a menudo en forma de gases o vapores, se introducen en una cámara de reacción donde son transportados a la superficie del sustrato. Este transporte se ve facilitado por el flujo de gases dentro de la cámara y las condiciones de vacío que ayudan a atraer los vapores precursores hacia el sustrato.Adsorción de especies en la superficie:
Una vez que los vapores precursores alcanzan el sustrato, se adsorben en la superficie. La adsorción es el proceso por el cual los átomos o moléculas de un gas, líquido o sólido disuelto se adhieren a una superficie. Este paso es crucial, ya que inicia la formación de una película al proporcionar los reactivos necesarios directamente sobre la superficie del sustrato.
Reacciones heterogéneas catalizadas por superficies:
Las especies adsorbidas experimentan reacciones químicas en la superficie del sustrato. Estas reacciones suelen estar catalizadas por el material del sustrato o por otras superficies de la cámara de reacción. Las reacciones conducen a la formación de nuevas especies químicas que forman parte de la película deseada.Difusión superficial de las especies a los lugares de crecimiento:
Las especies químicas formadas a través de las reacciones superficiales se difunden a través de la superficie del sustrato para llegar a los lugares de crecimiento específicos. Esta difusión es importante para el crecimiento uniforme de la película a través del sustrato.
Nucleación y crecimiento de la película:
