El sputtering DC es una técnica de deposición física en fase vapor (PVD) utilizada para depositar películas finas mediante la expulsión de átomos de un material objetivo sólido debido al bombardeo de partículas energéticas. En este proceso, se aplica un voltaje a un objetivo metálico en un entorno de gas a baja presión, normalmente utilizando un gas inerte como el argón. Los iones del gas colisionan con el objetivo, provocando la "pulverización" de partículas microscópicas del material objetivo, que se depositan en un sustrato cercano.
Explicación detallada:
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Preparación y creación del vacío inicial:
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El proceso comienza con la preparación de una cámara de vacío en la que el material objetivo y el sustrato se colocan en paralelo. La cámara se evacua para eliminar impurezas y se rellena con un gas inerte de gran pureza, normalmente argón. Este gas se elige por su masa y su capacidad para transferir eficazmente la energía cinética durante las colisiones en el plasma.Aplicación de tensión continua:
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Se aplica una tensión eléctrica de corriente continua (CC), que suele oscilar entre -2 y -5 kV, al material objetivo, que actúa como cátodo. El sustrato que se va a recubrir recibe una carga positiva, lo que lo convierte en el ánodo. Esta configuración crea un campo eléctrico que ioniza el gas argón, formando un plasma.
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Bombardeo iónico y pulverización catódica:
Los iones de argón energéticos del plasma son acelerados por el campo eléctrico hacia el blanco cargado negativamente. Al impactar, estos iones desprenden átomos del material objetivo mediante un proceso denominado pulverización catódica. Estos átomos expulsados viajan a través del plasma y se depositan sobre el sustrato, formando una fina película.Ventajas y aplicaciones:
El sputtering DC es el método preferido por su sencillez, rentabilidad y facilidad de control, especialmente para la deposición de metales y el recubrimiento de materiales conductores de la electricidad. Se utiliza mucho en la industria de semiconductores para crear circuitos de microchips y en otras aplicaciones, como revestimientos decorativos en joyería y revestimientos antirreflectantes en vidrio y componentes ópticos.
