MPCVD
Sistema de Reactor de Deposición Química de Vapor de Plasma de Microondas MPCVD para Laboratorio y Crecimiento de Diamantes
Número de artículo : KTMP315
El precio varía según Especificaciones y personalizaciones
- Potencia de microondas
- Frecuencia de microondas 2450±15MHZ
- Potencia de salida
- 1～10 KW continuamente ajustable
- Fuga de microondas
- ≤2MW/cm2
- Interfaz de guía de ondas de salida
- WR340, 430 con brida estándar FD-340, 430
- Portamuestras
- Diámetro de la mesa de muestra≥70mm, área de uso efectiva≥64 mm
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MPCVD significa Deposición Química de Vapor de Plasma de Microondas. Cultiva películas de diamante de calidad en laboratorios utilizando gas de carbono y plasma de microondas.
Sistema MPCVD
MPCVD es un sistema para depositar películas delgadas sobre un sustrato utilizando una cámara de vacío, un generador de microondas y un sistema de suministro de gas. Se genera un plasma dentro de la cámara mediante un magnetrón o klystron que genera microondas a 2.45 GHz. El sistema de suministro de gas tiene MFC calibrados en sccm para controlar el flujo de gas. La temperatura del sustrato se controla mediante el plasma y se mide con un termopar. El plasma calienta el sustrato y la temperatura se monitoriza durante la deposición.
Aplicaciones
MPCVD muestra una gran promesa para producir diamantes grandes y de alta calidad a bajo costo.
Las propiedades únicas del diamante, como la dureza, la rigidez, la alta conductividad térmica, la baja expansión térmica, la resistencia a la radiación y la inercia química, lo convierten en un material valioso. Sin embargo, el alto costo, el tamaño limitado y la dificultad para controlar las impurezas de los diamantes naturales y sintéticos de alta presión y alta temperatura han limitado sus aplicaciones.
MPCVD es el equipo principal para cultivar gemas y películas de diamante, que pueden ser monocristalinas o policristalinas. La industria de semiconductores utiliza ampliamente el crecimiento de películas de diamante para sustratos de diamante de gran tamaño, así como la industria de herramientas de corte o perforación de diamantes.
En comparación con el método HPHT para diamantes cultivados en laboratorio, el método CVD de microondas tiene ventajas para el crecimiento de diamantes de gran tamaño a menor costo, lo que lo convierte en una solución ideal para diamantes semiconductores, crecimiento de diamantes ópticos y el mercado de diamantes de joyería de gran tamaño.
Ventajas de MPCVD
MPCVD es un método de síntesis de diamantes con ventajas sobre HFCVD y DC-PJ CVD. Evita la contaminación y permite el uso de múltiples gases. Ofrece un ajuste suave de la potencia de microondas y un control estable de la temperatura, evitando la pérdida de cristales semilla. MPCVD es prometedor para aplicaciones industriales debido a un área de plasma grande y estable.
MPCVD produce diamantes más puros utilizando menos energía que HPHT. También permite la producción de diamantes más grandes.
Ventajas de Nuestro Sistema MPCVD
Hemos estado profundamente involucrados en la industria durante muchos años y, como resultado, tenemos una vasta base de clientes que confían y utilizan nuestros equipos. Nuestros equipos MPCVD han estado funcionando de manera constante durante más de 40,000 horas, demostrando una estabilidad, confiabilidad, repetibilidad y rentabilidad excepcionales. Más ventajas de nuestro sistema MPCVD incluyen:
- Área de crecimiento de sustrato de 3 pulgadas, carga máxima por lote hasta 45 piezas de diamantes
- Potencia de salida de microondas ajustable de 1-10Kw para menor consumo de electricidad
- Equipo de investigación con amplia experiencia y soporte de recetas de crecimiento de diamantes de vanguardia
- Programa de soporte técnico exclusivo para equipos sin experiencia en crecimiento de diamantes
Aprovechando nuestra tecnología avanzada acumulada, hemos implementado múltiples rondas de actualizaciones y mejoras en nuestro sistema MPCVD, lo que ha resultado en una eficiencia significativamente mejorada y costos de equipo reducidos. Como resultado, nuestro equipo MPCVD está a la vanguardia de los avances tecnológicos y se ofrece a un precio competitivo. Bienvenido a consultarnos.
Proceso de Trabajo
La máquina MPCVD controla el flujo de cada ruta de gas y la presión de la cavidad mientras introduce gases reactivos (como CH4, H2, Ar, O2, N2, etc.) en la cavidad bajo una presión específica. Después de estabilizar el flujo de aire, el generador de microondas de estado sólido de 6KW genera microondas que luego se introducen en la cavidad a través de la guía de ondas.
El gas de reacción se transforma en un estado de plasma bajo el campo de microondas, formando una bola de plasma que flota sobre el sustrato de diamante. La alta temperatura del plasma calienta el sustrato a una temperatura específica. El exceso de calor producido en la cavidad se disipa mediante la unidad de enfriamiento por agua.
Para garantizar condiciones de crecimiento óptimas durante el proceso de crecimiento de diamantes monocristalinos MPCVD, ajustamos factores como la potencia, la composición de la fuente de gas y la presión de la cavidad. Además, dado que la bola de plasma no entra en contacto con la pared de la cavidad, el proceso de crecimiento de diamantes está libre de impurezas, lo que mejora la calidad del diamante.
Detalle y Piezas
Sistema de microondas
Cámara de reacción
Sistema de flujo de gas
Sistema de vacío y sensores
Especificaciones técnicas
| Sistema de microondas |
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| Cámara de reacción |
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| Portamuestras |
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| Sistema de flujo de gas |
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| Sistema de refrigeración |
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| Sensor de temperatura |
|
| Sistema de control |
|
| Función opcional |
|
Advertencias
¡La seguridad del operador es el tema más importante! Por favor, opere el equipo con precauciones. Trabajar con gases inflamables, explosivos o tóxicos es muy peligroso, los operadores deben tomar todas las precauciones necesarias antes de poner en marcha el equipo. Trabajar con presión positiva dentro de los reactores o cámaras es peligroso, el operador debe respetar estrictamente los procedimientos de seguridad. También se debe tener precaución adicional cuando se opera con materiales que reaccionan con el aire, especialmente bajo vacío. Una fuga puede introducir aire en el aparato y provocar una reacción violenta.
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FAQ
¿Qué Es Un Equipo CVD?
¿Qué Es La Máquina De Diamante CVD?
¿Qué Tipos De Máquinas De Crecimiento De Diamantes Están Disponibles?
¿Qué Hace El Equipo CVD?
¿Cuáles Son Las Ventajas De Los Diamantes Cultivados En Laboratorio?
¿Cuál Es El Principio Básico De La ECV?
¿Cuál Es El Precio De La Máquina De Cultivo CVD?
¿Cuáles Son Los Diferentes Tipos De Método CVD?
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