El bombardeo por haz de iones (IBS) es una técnica de deposición de películas finas en la que se dirige un haz de iones a un material objetivo, provocando la expulsión de átomos que se depositan sobre un sustrato. Este proceso se caracteriza por su alta precisión, eficiencia energética y capacidad para controlar la energía y el flujo de iones de forma independiente.
Resumen de la respuesta:
El pulverizado con haz de iones funciona utilizando un haz de iones focalizado para bombardear un material objetivo, provocando la expulsión de átomos y su depósito sobre un sustrato. Este método permite un control preciso del proceso de deposición, lo que da lugar a películas densas y de alta calidad con una adherencia y uniformidad superiores.
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Explicación detallada:Generación de haces de iones:
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En el IBS, los iones se generan mediante un medidor de ionización de filamento caliente o una fuente Kaufman. En esta última, los electrones son confinados por un campo magnético y colisionan con un gas, creando iones. A continuación, estos iones son acelerados hacia el blanco por un campo eléctrico.
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Interacción con el blanco:
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El haz de iones, compuesto por átomos neutros, choca contra el blanco con la energía suficiente para desalojar y expulsar los átomos de la superficie del blanco. Este proceso se conoce como pulverización catódica. A continuación, los átomos expulsados se desplazan por la cámara de vacío y se depositan sobre un sustrato, formando una fina película.Control y precisión:
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Una de las principales ventajas del IBS es el control independiente de la energía y el flujo de iones. Esto permite ajustar con precisión la velocidad de sputtering, la energía y la densidad de corriente, optimizando las condiciones de deposición. La alta colimación del haz de iones garantiza que la película depositada tenga un espesor y una composición uniformes.
Unión y uniformidad de la energía:
La alta energía del haz de iones (unas 100 veces superior a la del recubrimiento al vacío) garantiza que, incluso después de la deposición, la película conserve suficiente energía cinética para formar una fuerte unión con el sustrato. Además, la gran superficie del blanco en IBS contribuye a la uniformidad de la película depositada, ofreciendo una mayor flexibilidad en términos de material y composición del blanco.
