La evaporación térmica es una técnica de deposición física de vapor (PVD) en la que un material se calienta hasta su punto de evaporación en un entorno de alto vacío, lo que provoca su vaporización y posterior depósito como película fina sobre un sustrato. Este proceso se caracteriza por su sencillez, su bajo consumo de energía y su capacidad para depositar una amplia gama de materiales.
Explicación detallada:
-
Calentamiento del material:
-
En la evaporación térmica, el material que se va a depositar se coloca en un bote resistivo o crisol dentro de una cámara de vacío. El material se calienta mediante el calentamiento Joule, en el que se hace pasar una corriente eléctrica a través de la barca resistiva, provocando su calentamiento. Este método de calentamiento se elige por su eficacia y control de la temperatura.Vaporización en vacío:
-
El entorno de vacío, que suele mantenerse a una presión inferior a 10^-5 torr, es crucial para el proceso. En un entorno de tan baja presión, el material puede vaporizarse sin colisiones con otras moléculas de gas, que de otro modo impedirían el proceso de deposición. El vacío también garantiza que las partículas vaporizadas se desplacen en línea recta hacia el sustrato.
-
Deposición sobre el sustrato:
-
Una vez vaporizado, el material viaja desde la fuente hasta el sustrato, donde se condensa y forma una fina película. El sustrato puede estar hecho de diversos materiales y a menudo se calienta para mejorar la adherencia y la calidad de la película depositada. Las partículas vaporizadas tienen energías relativamente bajas, normalmente en torno a 0,12 eV, lo que hace que el proceso sea suave y adecuado para sustratos delicados.Materiales y aplicaciones:
La evaporación térmica puede utilizarse para depositar una gran variedad de materiales, incluidos metales como el aluminio, la plata, el níquel y el cromo, así como otros materiales como el magnesio. Esta versatilidad la hace adecuada para aplicaciones que van desde la electrónica hasta la óptica y los revestimientos para piezas mecánicas.
Métodos de evaporación:
