Para limpiar un blanco de pulverización catódica, puede seguir los pasos que se indican a continuación:
1. Limpie con un paño suave sin pelusa empapado en acetona. Esto ayudará a eliminar el polvo o la suciedad que pueda haber en la superficie del objetivo.
2. Limpiar con alcohol. Utilice un paño limpio empapado en alcohol para limpiar aún más el objetivo y eliminar cualquier resto de contaminantes.
3. Limpiar con agua desionizada. Enjuague el objetivo con agua desionizada para asegurarse de que se eliminan todos los restos de acetona y alcohol.
4. Seque el blanco. Después de limpiarlo con agua desionizada, coloque el objetivo en un horno y séquelo a una temperatura de 100 ℃ durante 30 minutos. Esto asegurará que el objetivo esté completamente seco antes de su uso posterior.
Además del proceso de limpieza, hay que tener en cuenta algunas precauciones durante el uso de los cátodos para sputter coater:
1. Preparación de la pulverización catódica: Es importante mantener la cámara de vacío y el sistema de sputtering limpios. Cualquier residuo o contaminante puede aumentar la posibilidad de fallo de la película. Limpie las cámaras de sputtering, las pistolas de sputtering y los blancos de sputtering para evitar cortocircuitos en el sistema, arcos en los blancos y formación de superficies rugosas.
2. 2. Instalación del blanco: Durante la instalación del blanco, asegúrese de que exista una buena conexión térmica entre el blanco y la pared estabilizadora de la pistola de pulverización catódica. Si la duela de refrigeración o la placa de apoyo están deformadas, pueden producirse grietas o dobleces en el blanco, lo que afectaría a la conductividad térmica y provocaría daños en el blanco.
3. Optimización del uso del blanco: En los sistemas de pulverización catódica, el cátodo es una pieza sólida de material que se pulverizará para recubrir una película fina. Asegúrese de que el blanco es lo suficientemente grande como para evitar el sputtering involuntario de otros componentes. Preste atención a las zonas de la superficie del cátodo en las que el efecto de pulverización catódica ha sido predominante, conocidas como pistas de rodadura, ya que puede ser necesario abordarlas o sustituirlas.
4. Blanco para sputtering de silicio: Si trabaja con un blanco para sputtering de silicio, es importante elegir un blanco fabricado mediante procesos y métodos adecuados. Esto puede incluir galvanoplastia, pulverización catódica y deposición de vapor. Además, pueden ser necesarios procesos de limpieza y grabado para conseguir las condiciones de superficie deseadas.
Siguiendo estos pasos y tomando precauciones, podrá limpiar y utilizar eficazmente los cátodos para sputtering en su proceso de sputtering.
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