El espesor de un cátodo para sputtering puede variar en función de varios factores.
Estos factores incluyen el material que se utiliza y la naturaleza de la película fina que se crea.
Para el sputtering por magnetrón de materiales magnéticos como el níquel, se utiliza un cátodo más fino.
Suele tratarse de una lámina de menos de 1 mm de grosor.
Para los cátodos metálicos normales, se considera aceptable un espesor de hasta 4 ó 5 mm.
Lo mismo se aplica a los cátodos de óxido.
El tamaño y la forma de los cátodos para sputtering también pueden variar mucho.
Los cátodos más pequeños pueden tener menos de una pulgada (2,5 cm) de diámetro.
Mientras que los blancos rectangulares más grandes pueden alcanzar más de una yarda (0,9 m) de longitud.
En algunos casos, pueden ser necesarios blancos más grandes.
Los fabricantes pueden crear cátodos segmentados unidos por juntas especiales.
Las formas más comunes de los cátodos para sputtering son la circular y la rectangular.
Aunque también pueden fabricarse otras formas como cuadrados y triangulares.
Los tamaños estándar de los cátodos circulares oscilan entre 1" y 20" de diámetro.
Los cátodos rectangulares pueden tener una longitud de hasta 2.000 mm o más.
Esto depende del metal y de si se trata de una construcción de una o varias piezas.
Los métodos de fabricación de cátodos para sputtering dependen de las propiedades del material del cátodo y de su aplicación.
Pueden utilizarse los métodos de fusión y laminado en vacío, prensado en caliente, proceso especial de prensado-sinterizado, prensado en caliente en vacío y forjado.
Los cátodos para sputtering suelen ser planchas sólidas de metales puros, aleaciones o compuestos como óxidos o nitruros.
El espesor de los revestimientos depositados por pulverización catódica suele oscilar entre angstroms y micras.
La película fina puede ser de un solo material o de varios materiales en una estructura de capas.
El sputtering reactivo es otro proceso en el que se utiliza un gas no inerte, como el oxígeno, en combinación con un material objetivo elemental.
Esto crea una reacción química y forma una nueva película compuesta.
En resumen, el grosor de un cátodo para sputtering puede variar en función del material y la aplicación.
Oscila entre menos de 1 mm para materiales magnéticos y hasta 4 ó 5 mm para cátodos normales de metal y óxido.
El tamaño y la forma de los cátodos para sputtering también pueden variar mucho.
Hay cátodos redondos con diámetros de 1" a 20" y rectangulares con longitudes de hasta 2000 mm o más.
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