Conocimiento ¿Qué espesor tiene el recubrimiento por pulverización catódica SEM?
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Equipo técnico · Kintek Solution

Actualizado hace 1 semana

¿Qué espesor tiene el recubrimiento por pulverización catódica SEM?

El grosor de los recubrimientos por pulverización catódica utilizados en microscopía electrónica de barrido (SEM) suele oscilar entre 2 y 20 nanómetros (nm). Esta capa ultrafina de metal, normalmente oro, oro/paladio, platino, plata, cromo o iridio, se aplica a muestras no conductoras o poco conductoras para evitar que se carguen y mejorar la relación señal/ruido aumentando la emisión de electrones secundarios.

Explicación detallada:

  1. Finalidad del recubrimiento por pulverización catódica:

  2. El recubrimiento por pulverización catódica es esencial para el SEM cuando se trabaja con materiales no conductores o sensibles al haz. Estos materiales pueden acumular campos eléctricos estáticos, distorsionando el proceso de obtención de imágenes o dañando la muestra. El revestimiento actúa como una capa conductora, evitando estos problemas y mejorando la calidad de las imágenes SEM al aumentar la relación señal/ruido.Espesor del revestimiento:

  3. El grosor óptimo de los recubrimientos por pulverización catódica en SEM suele estar entre 2 y 20 nm. Para SEM de menor aumento, los recubrimientos de 10-20 nm son suficientes y no afectan significativamente a la obtención de imágenes. Sin embargo, para los SEM de mayor aumento, especialmente los que tienen resoluciones inferiores a 5 nm, es crucial utilizar recubrimientos más finos (tan finos como 1 nm) para evitar oscurecer los detalles más finos de la muestra. Los recubridores por pulverización catódica de gama alta, equipados con características como alto vacío, entornos de gas inerte y monitores de espesor de película, están diseñados para lograr estos recubrimientos finos y precisos.

  4. Tipos de materiales de recubrimiento:

Aunque se suelen utilizar metales como el oro, la plata, el platino y el cromo, también se emplean revestimientos de carbono, sobre todo para aplicaciones como la espectroscopia de rayos X y la difracción de electrones retrodispersados (EBSD), en las que es importante evitar interferencias del material de revestimiento con el análisis elemental o estructural de la muestra.

Impacto en el análisis de muestras:

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