El grosor de los recubrimientos por pulverización catódica utilizados en microscopía electrónica de barrido (SEM) suele oscilar entre 2 y 20 nanómetros (nm).
Esta capa ultrafina de metal, normalmente oro, oro/paladio, platino, plata, cromo o iridio, se aplica a muestras no conductoras o poco conductoras.
El objetivo es evitar la carga y mejorar la relación señal/ruido aumentando la emisión de electrones secundarios.
¿Cuál es el espesor del revestimiento por pulverización catódica SEM? 4 factores clave a tener en cuenta
1. 1. Finalidad del recubrimiento por pulverización catódica
El recubrimiento por pulverización catódica es esencial para el SEM cuando se trabaja con materiales no conductores o sensibles al haz.
Estos materiales pueden acumular campos eléctricos estáticos, distorsionando el proceso de obtención de imágenes o dañando la muestra.
El recubrimiento actúa como una capa conductora, evitando estos problemas y mejorando la calidad de las imágenes SEM al aumentar la relación señal/ruido.
2. Espesor del revestimiento
El grosor óptimo de los recubrimientos por pulverización catódica en SEM suele estar entre 2 y 20 nm.
Para SEM de menor aumento, los recubrimientos de 10-20 nm son suficientes y no afectan significativamente a la obtención de imágenes.
Sin embargo, en los microscopios electrónicos de barrido de mayor aumento, especialmente los que tienen resoluciones inferiores a 5 nm, es fundamental utilizar recubrimientos más finos (de hasta 1 nm) para evitar que se oculten los detalles más finos de la muestra.
Los sputter coaters de gama alta equipados con características como alto vacío, entornos de gas inerte y monitores de espesor de película están diseñados para lograr estos recubrimientos precisos y finos.
3. Tipos de materiales de revestimiento
Aunque se suelen utilizar metales como el oro, la plata, el platino y el cromo, también se emplean recubrimientos de carbono.
Éstos se utilizan especialmente en aplicaciones como la espectroscopia de rayos X y la difracción de retrodispersión de electrones (EBSD), en las que es importante evitar interferencias del material de revestimiento con el análisis elemental o estructural de la muestra.
4. Impacto en el análisis de muestras
La elección del material de recubrimiento y su espesor pueden afectar significativamente a los resultados del análisis SEM.
Por ejemplo, en EBSD, el uso de un recubrimiento metálico podría alterar la información sobre la estructura del grano, lo que daría lugar a análisis inexactos.
Por lo tanto, en estos casos se prefiere un recubrimiento de carbono para mantener la integridad de la superficie de la muestra y la estructura del grano.
En resumen, el grosor de los recubrimientos por pulverización catódica en SEM es un parámetro crítico que debe controlarse cuidadosamente en función de los requisitos específicos de la muestra y del tipo de análisis que se realice.
El intervalo de 2-20 nm es una pauta general, pero a menudo es necesario realizar ajustes para optimizar la obtención de imágenes y el análisis para distintos tipos de muestras y objetivos de microscopía.
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