Un cátodo ITO, que significa óxido de indio y estaño, es un tipo de cátodo para sputtering utilizado en la industria de las películas finas.
Se compone de una mezcla de óxido de indio (In2O3) y óxido de estaño (SnO2) con una proporción de peso de 90% de In2O3 y 10% de SnO2.
El ITO es una elección popular para cátodos de sputtering debido a su combinación de conductividad eléctrica y transparencia óptica.
Se utiliza habitualmente en aplicaciones de semiconductores, fotovoltaicas y de revestimiento, así como en aplicaciones ópticas.
Existen varios métodos para fabricar cátodos de ITO.
Uno de ellos es la pulverización térmica de cátodos rotativos, que incluye los métodos de producción por plasma, arco y pulverización en frío.
Otros métodos de fabricación son la fundición, la extrusión y el prensado isostático en caliente (HIP)/sinterizado.
Los cátodos giratorios, concretamente los cátodos cilíndricos, se utilizan a menudo en la fabricación de recubrimientos de gran superficie para vidrio arquitectónico y pantallas planas.
Estos cátodos tienen varias ventajas sobre los cátodos planos.
Contienen más material, por lo que las series de producción son más largas y se reducen los tiempos de inactividad.
La acumulación de calor se distribuye uniformemente por la superficie, lo que permite mayores densidades de potencia y una mayor velocidad de deposición.
Esto se traduce en un mejor rendimiento durante el sputtering reactivo.
KINTEK es un proveedor especializado en la producción de cátodos ITO de alta pureza.
Ofrecen cátodos cilíndricos a medida para sputtering rotativo en varios tamaños, desde 2" hasta 8,625" de diámetro y longitudes desde unas pocas pulgadas hasta 160 pulgadas.
Los cátodos se analizan mediante técnicas como la fluorescencia de rayos X (XRF), la espectrometría de masas por descarga luminiscente (GDMS) y el plasma acoplado inductivamente (ICP) para garantizar la máxima calidad.
Para obtener el mejor rendimiento y evitar la formación de grietas o el sobrecalentamiento, se recomienda adherir el blanco ITO a una placa de soporte.
Los métodos de producción de cátodos compuestos utilizados por KINTEK incluyen el prensado en caliente al vacío, el prensado isostático en caliente, el prensado isostático en frío y la sinterización por prensado en frío.
Los cátodos pueden fabricarse en diversas formas y tamaños, como rectangulares, anulares u ovalados, en función de los requisitos específicos.
En resumen, un cátodo ITO es un cátodo para sputtering compuesto por una mezcla de óxido de indio y óxido de estaño.
Se utiliza en diversas industrias para la deposición de películas finas y ofrece una combinación de conductividad eléctrica y transparencia óptica.
Fabricados mediante diferentes métodos, los cátodos ITO se presentan a menudo en forma de cátodos giratorios, que presentan ventajas sobre los cátodos planos en términos de utilización del material y rendimiento de la deposición.
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