El recubrimiento por pulverización catódica para la preparación de muestras SEM consiste en aplicar una capa ultrafina de metal conductor de la electricidad sobre muestras no conductoras o poco conductoras. Este proceso es crucial para evitar la carga y mejorar la calidad de las imágenes SEM aumentando la relación señal/ruido mediante la mejora de la emisión de electrones secundarios. El grosor típico de la capa metálica pulverizada oscila entre 2 y 20 nm, y los metales más utilizados son el oro, el oro/paladio, el platino, la plata, el cromo y el iridio.
Explicación detallada:
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Finalidad del recubrimiento por pulverización catódica:
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El recubrimiento por pulverización catódica se utiliza principalmente para preparar muestras no conductoras o poco conductoras para microscopía electrónica de barrido (SEM). Sin un recubrimiento conductor, estas muestras pueden acumular campos eléctricos estáticos que distorsionan la imagen o dañan la muestra debido a la interacción del haz de electrones.Mecanismo del recubrimiento por pulverización catódica:
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- El proceso implica una técnica de deposición por pulverización catódica en la que un blanco metálico es bombardeado con partículas energéticas (normalmente iones), lo que provoca que los átomos del blanco sean expulsados y depositados sobre la muestra. Se forma así una capa fina y uniforme de metal que proporciona conductividad eléctrica a la muestra.Ventajas del recubrimiento por pulverización catódica:
- Prevención de la carga: Al proporcionar una vía conductora, el recubrimiento por pulverización catódica evita la acumulación de carga en la muestra, que de otro modo desviaría el haz de electrones y degradaría la calidad de la imagen.
- Aumento de la emisión de electrones secundarios: Los metales conductores como el oro y el platino emiten electrones secundarios cuando son alcanzados por un haz de electrones. Esto aumenta la intensidad de la señal, mejorando la resolución y el contraste de las imágenes SEM.
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Reducción del daño térmico: Un revestimiento conductor también ayuda a disipar el calor generado por el haz de electrones, reduciendo el riesgo de daños térmicos a las muestras sensibles.
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Tipos de metales utilizados:
Para el recubrimiento por pulverización catódica pueden utilizarse varios metales, cada uno con sus ventajas dependiendo de los requisitos específicos del análisis SEM. Por ejemplo, el oro/paladio se utiliza a menudo por su excelente conductividad y resistencia a la oxidación, mientras que el platino proporciona un revestimiento robusto adecuado para la obtención de imágenes de alta resolución.
Limitaciones y alternativas: