La deposición por pulverización catódica es un proceso utilizado para depositar películas finas de un material sobre una superficie, conocida como sustrato. Esto se consigue creando un plasma gaseoso y acelerando los iones de este plasma en un material fuente, o blanco. La transferencia de energía de los iones erosiona el material objetivo, provocando su expulsión en forma de partículas neutras, que se desplazan en línea recta hasta entrar en contacto con un sustrato, recubriéndolo con una fina película del material fuente.
El sputtering es un proceso físico en el que los átomos en estado sólido (blanco) se liberan y pasan a la fase gaseosa por bombardeo con iones energéticos, normalmente iones de gases nobles. Este proceso suele realizarse en un entorno de alto vacío y forma parte del grupo de procesos PVD (deposición física de vapor). El sputtering no sólo se utiliza para la deposición, sino que también sirve como método de limpieza para preparar superficies de gran pureza y como método para analizar la composición química de las superficies.
El principio del sputtering consiste en utilizar la energía de un plasma sobre la superficie de un blanco (cátodo) para arrastrar los átomos del material uno a uno y depositarlos sobre el sustrato. El recubrimiento por pulverización catódica, o deposición por pulverización catódica, es un proceso físico de deposición de vapor utilizado para aplicar un recubrimiento funcional muy fino sobre un sustrato. El proceso se inicia cargando eléctricamente un cátodo de pulverización catódica, que forma un plasma y provoca la expulsión de material de la superficie objetivo. El material se adhiere o se sujeta al cátodo y se utilizan imanes para garantizar una erosión estable y uniforme del material. A nivel molecular, el material objetivo se dirige al sustrato mediante un proceso de transferencia de impulso. El material objetivo de alta energía impacta en el sustrato y se introduce en la superficie, formando un enlace muy fuerte a nivel atómico, lo que convierte al material en una parte permanente del sustrato.
Las técnicas de pulverización catódica se utilizan ampliamente para diversas aplicaciones, como la creación de una capa extremadamente fina de un metal concreto sobre un sustrato, la realización de experimentos analíticos, el grabado a un nivel preciso, la fabricación de películas finas de semiconductores, los recubrimientos de dispositivos ópticos y la nanociencia. Entre las fuentes utilizadas para crear iones incidentes de alta energía, el magnetrón de radiofrecuencia se utiliza habitualmente para depositar materiales bidimensionales en sustratos de vidrio, lo que resulta útil para estudiar el efecto sobre películas finas con aplicaciones en células solares. El sputtering con magnetrón es una técnica respetuosa con el medio ambiente que permite depositar pequeñas cantidades de óxidos, metales y aleaciones sobre diferentes sustratos.
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