El sputtering es una técnica de deposición física de vapor (PVD) que se utiliza para depositar películas finas de materiales sobre un sustrato. Consiste en el uso de gas ionizado para ablacionar un material objetivo, lo que provoca que los átomos del objetivo sean expulsados y depositados sobre el sustrato, formando un recubrimiento fino, uniforme y de gran pureza. Este proceso es versátil y puede utilizarse en una gran variedad de sustratos, incluidos los que no son conductores de la electricidad.
Tipos de sputtering:
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Las técnicas de pulverización catódica se clasifican en varios tipos, cada uno de ellos adecuado para diferentes aplicaciones:Sputtering de corriente continua (CC):
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Esta es la forma más sencilla de pulverización catódica, en la que se aplica una corriente continua al material objetivo, provocando la expulsión de átomos al ser bombardeado por los iones del plasma.Pulverización catódica por radiofrecuencia (RF):
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El sputtering por radiofrecuencia utiliza energía de radiofrecuencia para generar el plasma. Este método es especialmente útil para depositar materiales aislantes, ya que no requiere que el material objetivo sea conductor.Sputtering de frecuencia media (MF):
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Esta técnica utiliza una frecuencia entre CC y RF, combinando algunas de las ventajas de ambas. Resulta eficaz para depositar materiales que son difíciles de bombardear utilizando únicamente CC o RF.Pulverización catódica de CC pulsada:
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Este método utiliza una corriente continua pulsada, que ayuda a reducir los efectos de carga en sustratos aislantes y puede mejorar la calidad de la película.Sputtering por magnetrón de impulsos de alta potencia (HiPIMS):
El HiPIMS utiliza impulsos de muy alta potencia para crear un plasma denso, lo que provoca una mayor ionización de las partículas pulverizadas. El resultado son películas con mejor adherencia y estructuras más densas.Proceso de sputtering:
El proceso de sputtering comienza colocando el sustrato en una cámara de vacío llena de un gas inerte, normalmente argón. El material objetivo, que se va a depositar, se carga negativamente, convirtiéndolo en un cátodo. Esta carga hace que fluyan electrones libres desde el blanco, que luego chocan con los átomos de gas, ionizándolos. Estos átomos de gas ionizados (iones) son acelerados hacia el blanco por el campo eléctrico, colisionando con él y provocando la expulsión de átomos de la superficie del blanco. Estos átomos expulsados viajan a través del vacío y se depositan sobre el sustrato, formando una fina película.
Aplicaciones del sputtering:
El sputtering se utiliza ampliamente en varias industrias debido a su capacidad para crear películas finas de alta calidad. Se utiliza en la fabricación de semiconductores, dispositivos ópticos, células solares y para recubrir materiales en electrónica y dispositivos de almacenamiento de datos como CD y unidades de disco. La técnica también es valiosa en investigación para crear estructuras precisas de películas finas para experimentos analíticos y en nanotecnología.
