En el sputtering, el blanco es una pieza sólida de material que se utiliza para depositar una película fina sobre un sustrato. Este proceso implica la expulsión de átomos o moléculas del material objetivo debido al bombardeo por partículas energéticas, normalmente iones de un gas inerte como el argón. El material pulverizado forma entonces una película sobre el sustrato colocado dentro de la cámara de vacío.
Características y tipos de blanco:
Los cátodos de los sistemas de pulverización catódica suelen ser placas sólidas de diversos tamaños y formas, desde planas hasta cilíndricas, en función de los requisitos específicos de la geometría del plasma. Estos cátodos están hechos de una variedad de materiales que incluyen metales puros, aleaciones y compuestos como óxidos o nitruros. La elección del material de los cátodos depende de las propiedades deseadas de la película fina que se va a depositar.Proceso de sputtering:
Durante el proceso de sputtering, se introduce un gas controlado, normalmente argón, en una cámara de vacío. Se aplica una descarga eléctrica al cátodo, que aloja el material objetivo, creando un plasma. En este plasma, los átomos de argón se ionizan y se aceleran hacia el objetivo, donde chocan con el material objetivo, provocando la expulsión de átomos o moléculas. Estas partículas expulsadas forman una corriente de vapor que viaja a través de la cámara y se deposita sobre el sustrato, formando una fina película.
Ejemplos específicos y aplicaciones:
Por ejemplo, un cátodo para sputtering de silicio se fabrica a partir de un lingote de silicio y puede fabricarse mediante diversos métodos, como galvanoplastia, sputtering o deposición de vapor. Estos cátodos se procesan para garantizar que tengan las condiciones superficiales deseables, como una alta reflectividad y una baja rugosidad superficial, que son cruciales para la calidad de las películas depositadas. Las películas producidas por estos cátodos se caracterizan por un bajo número de partículas, lo que las hace adecuadas para aplicaciones en la fabricación de semiconductores y células solares.
