El análisis XRF (fluorescencia de rayos X) suele penetrar en la muestra hasta profundidades de entre 1-1000 µm. La profundidad de penetración está influida por el peso atómico de los elementos de la muestra; los elementos más ligeros son más difíciles de detectar a niveles más profundos en comparación con los elementos más pesados. Esto se debe a que los rayos X característicos emitidos durante el análisis se deben generalmente a los átomos superficiales a estas profundidades. La capacidad de detectar elementos a diferentes profundidades es crucial para un análisis preciso, ya que afecta a la señal recibida por el espectrómetro XRF. Los elementos de mayor energía, normalmente los de mayor número atómico, tienen profundidades de escape mayores en una muestra, lo que significa que pueden detectarse desde capas más profundas en comparación con los elementos de menor energía. Esta sensibilidad de profundidad es un factor clave en la preparación e interpretación de los resultados de los análisis XRF.
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