El recubrimiento por pulverización catódica para SEM consiste en aplicar una capa metálica ultrafina conductora de la electricidad sobre muestras no conductoras o poco conductoras para evitar que se carguen y mejorar la calidad de las imágenes. En este proceso se utilizan metales como el oro, el platino, la plata o el cromo, normalmente en espesores de 2-20 nm. Las ventajas incluyen la reducción del daño por haz, la mejora de la conducción térmica, la disminución de la carga de la muestra, la mejora de la emisión de electrones secundarios, la mejora de la resolución de los bordes y la protección de las muestras sensibles al haz.
Explicación detallada:
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Aplicación del revestimiento metálico:
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El recubrimiento por pulverización catódica implica la deposición de una fina capa de metal sobre una muestra. Esto es crucial para las muestras que no son conductoras de la electricidad, ya que de lo contrario acumularían campos eléctricos estáticos durante el análisis de microscopía electrónica de barrido (SEM). Los metales que se suelen utilizar para este fin son el oro, el platino, la plata, el cromo y otros, elegidos por su conductividad y su capacidad para formar películas finas estables.Prevención de la carga:
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Los materiales no conductores en un SEM pueden desarrollar una carga debido a la interacción con el haz de electrones, lo que puede distorsionar la imagen e interferir en el análisis. La capa metálica conductora aplicada mediante recubrimiento por pulverización catódica ayuda a disipar esta carga, garantizando una imagen clara y precisa.
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Mejora de la emisión de electrones secundarios:
- El recubrimiento metálico también mejora la emisión de electrones secundarios de la superficie de la muestra. Estos electrones secundarios son cruciales para la obtención de imágenes en SEM, y su mayor emisión mejora la relación señal-ruido, lo que da lugar a imágenes más claras y detalladas.
- Ventajas para las muestras de SEM:Reducción de los daños causados por el haz del microscopio:
- El revestimiento metálico ayuda a proteger la muestra de los efectos dañinos del haz de electrones.Mayor conducción térmica:
- La capa conductora ayuda a disipar el calor generado por el haz de electrones, protegiendo la muestra de daños térmicos.Reducción de la carga de la muestra:
- Como ya se ha mencionado, la capa conductora evita la acumulación de cargas electrostáticas.Mejora de la emisión de electrones secundarios:
- Esto mejora directamente la calidad de las imágenes SEM.Penetración reducida del haz con mejor resolución de los bordes:
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La fina capa metálica reduce la profundidad de penetración del haz de electrones, mejorando la resolución de los bordes y los detalles finos de la imagen.Protección de muestras sensibles al haz:
El revestimiento actúa como un escudo para los materiales sensibles, evitando la exposición directa al haz de electrones.
Grosor de las películas pulverizadas:
