El grosor del oro pulverizado puede variar en función de las condiciones específicas del proceso de pulverización.
Suele ser muy fino, a menudo medido en nanómetros.
La fórmula proporcionada en la referencia sugiere que el espesor (Th) de un revestimiento de Au/Pd pulverizado en gas argón puede calcularse mediante la ecuación Th = 7,5 I t.
En esta ecuación, I es la corriente en mA y t es el tiempo en minutos.
Por ejemplo, utilizando una corriente de 20 mA y un tiempo de 2-3 minutos, el espesor sería de aproximadamente 300-450 angstroms (3-4,5 nm).
1. Proceso de sputtering
El sputtering de oro consiste en la deposición de átomos de oro sobre un sustrato en una cámara de vacío.
Los iones de alta energía bombardean un blanco de oro, haciendo que los átomos de oro sean expulsados y depositados sobre el sustrato.
El espesor de la capa de oro depositada depende de la intensidad del bombardeo iónico, de la distancia entre el blanco y el sustrato y de la duración del proceso de sputtering.
2. Cálculo del espesor
La fórmula Th = 7,5 I t es específica para las condiciones mencionadas (tensión de 2,5KV, distancia entre el blanco y la muestra de 50mm).
Calcula el espesor en angstroms, donde 1 angstrom equivale a 0,1 nanómetros.
Por lo tanto, un recubrimiento de 300-450 angstroms equivaldría a 30-45 nm de oro.
3. Consideraciones sobre la aplicación
El oro no es ideal para imágenes de gran aumento debido a su alto rendimiento de electrones secundarios y a la formación de grandes islas o granos durante la pulverización catódica.
Esto puede afectar a la visibilidad de los detalles de la superficie a grandes aumentos.
Sin embargo, para aplicaciones que requieren bajos aumentos o propiedades funcionales específicas (por ejemplo, conductividad, resistencia a la corrosión), el sputtering de oro es eficaz y se utiliza habitualmente.
4. Variabilidad en las tasas de deposición
La referencia también menciona que los cátodos de platino, cuando se utilizan, suelen dar como resultado aproximadamente la mitad de la tasa de deposición de otros materiales.
Esto implica que unos ajustes similares para el sputtering de platino podrían dar lugar a un recubrimiento más fino en comparación con el oro.
En resumen, el espesor del oro pulverizado depende en gran medida de los parámetros de pulverización catódica y puede oscilar entre unos pocos nanómetros y decenas de nanómetros, dependiendo de la aplicación específica y de las condiciones establecidas durante el proceso de pulverización catódica.
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