El sputtering es una técnica versátil que se utiliza en diversas aplicaciones, pero conlleva varias desventajas que deben tenerse muy en cuenta.
6 principales desventajas del sputtering que debe conocer
Dificultad para combinarlo con el Lift-Off
El sputtering implica un transporte difuso, lo que dificulta el ensombrecimiento total de las zonas.
Esto puede dar lugar a posibles problemas de contaminación.
Los átomos pulverizados no pueden restringirse totalmente en su deposición.
Esto puede dar lugar a una deposición no deseada en zonas donde no se desea.
Retos del control activo
En comparación con técnicas como la deposición por láser pulsado, el sputtering presenta limitaciones en el control activo para el crecimiento capa a capa.
Esto se debe en parte a la dificultad de gestionar el proceso de deposición a nivel granular.
Esto puede afectar a la calidad y las propiedades de las películas depositadas.
Tasas de deposición bajas
El sputtering suele tener tasas de deposición más bajas, especialmente en técnicas como el sputtering por haz de iones y el sputtering por RF.
Esto puede ser un inconveniente importante cuando se requieren películas de gran superficie y espesor uniforme.
Aumenta el tiempo y el coste del proceso de deposición.
Costes elevados de los equipos
Los equipos utilizados en el sputtering, en particular el sputtering por haz de iones y el sputtering por RF, pueden ser complejos y caros.
Esto incluye la necesidad de costosas fuentes de alimentación, circuitos adicionales de adaptación de impedancias e imanes permanentes potentes para controlar los campos magnéticos parásitos.
Los elevados gastos de capital asociados a la instalación y el mantenimiento de los equipos de sputtering pueden suponer un obstáculo para su adopción.
Problemas de uniformidad y contaminación
El sputtering se enfrenta a menudo a problemas de deposición uniforme en estructuras complejas.
Puede introducir impurezas en el sustrato.
El proceso también puede activar contaminantes gaseosos en el plasma, lo que aumenta la contaminación de la película.
Además, la energía que incide sobre el objetivo se convierte en su mayor parte en calor, que debe gestionarse eficazmente para evitar daños en el sistema.
Ineficiencia en el uso de materiales
Los cátodos para sputtering pueden ser caros, y la eficiencia en el uso del material puede ser pobre.
Se trata de un problema importante, ya que afecta directamente a la rentabilidad del proceso de sputtering.
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