En lo que respecta al depósito químico en fase vapor (CVD), existen dos tipos principales: el CVD por plasma y el CVD térmico.
Estos métodos difieren significativamente en cómo inician las reacciones químicas y las temperaturas que requieren para el proceso de deposición.
Explicación de 2 diferencias clave
1. Mecanismo de iniciación de las reacciones químicas
CVD térmico
En el CVD térmico, las reacciones químicas necesarias para la deposición de películas finas se inician por calor.
El sustrato y los gases reactivos se calientan a temperaturas muy elevadas, normalmente en torno a los 1000ºC.
Este elevado calor ayuda a descomponer los gases reactivos y a depositar el material deseado sobre el sustrato.
CVD por plasma (PECVD)
El CVD por plasma, concretamente el CVD mejorado por plasma (PECVD), utiliza plasma para iniciar reacciones químicas.
El plasma se crea aplicando un campo eléctrico, que excita los gases reactivos y los hace reaccionar a temperaturas mucho más bajas que el CVD térmico.
Este método consiste en ionizar los gases, que luego reaccionan para formar la película deseada sobre el sustrato.
2. Requisitos de temperatura para el depósito
CVD térmico
El CVD térmico requiere temperaturas muy elevadas, normalmente en torno a los 1000°C.
Estas altas temperaturas son necesarias para activar las reacciones químicas.
Sin embargo, esto puede limitar los tipos de materiales que pueden depositarse porque algunos sustratos o materiales pueden dañarse o degradarse a temperaturas tan altas.
CVD por plasma (PECVD)
El PECVD puede funcionar a temperaturas mucho más bajas, a menudo entre 300°C y 350°C.
Este requisito de temperaturas más bajas es importante para depositar materiales sensibles a las altas temperaturas y para sustratos que no pueden soportar las altas temperaturas necesarias en el CVD térmico.
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