Para evaporar metal, existen dos métodos comúnmente utilizados: evaporación por haz de electrones y evaporación térmica.
1. 1. Evaporación por haz de electrones: Este método utiliza un haz de electrones focalizado para calentar y evaporar metales. La temperatura de los electrones suele ser de unos 3000 °C, y una fuente de corriente continua de alto voltaje los acelera hacia el material objetivo. El haz de electrones se dirige a un punto específico de la superficie del metal, provocando un rápido calentamiento y vaporización. Este proceso es especialmente útil para metales con puntos de fusión elevados, como el wolframio y el tántalo. La evaporación por haz de electrones provoca una contaminación mínima del crisol.
2. 2. Evaporación térmica: En este método, se utiliza un evaporador de metales para evaporar diversos metales sobre un sustrato o película. El evaporador de metal suele constar de un crisol y una fuente de calor. El metal se coloca en el crisol, que se calienta a altas temperaturas. Cuando el metal alcanza su punto de fusión, se convierte en líquido y finalmente se evapora en vapor. Este vapor se condensa en las superficies dentro de la cámara, recubriéndolas con una fina capa del metal. La evaporación térmica puede realizarse utilizando una máscara para recubrir selectivamente patrones específicos sobre una muestra. Para la evaporación pueden utilizarse distintos metales, como aluminio, oro, cromo, germanio, níquel, óxido de silicio y titanio.
Ambos métodos requieren un entorno de alto vacío para minimizar las colisiones de gases y las reacciones no deseadas durante el proceso de deposición. El evaporador de metales debe funcionar en condiciones controladas y deben seguirse los protocolos de seguridad adecuados. Es crucial recibir permiso y formación de una persona cualificada, como el Dr. Knobel del departamento de Física, antes de utilizar el evaporador de metales.
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