El grosor de las películas depositadas puede medirse mediante diversos métodos, cada uno con sus propios requisitos y aplicaciones. Entre los principales métodos se encuentran la perfilometría con palpador, la interferometría, la microscopía electrónica de transmisión (TEM) y la espectrofotometría, cada uno de ellos adaptado a diferentes espesores de película y propiedades de los materiales.
Perfilometría de palpador e interferometría:
La perfilometría de palpador y la interferometría son métodos mecánicos que requieren una ranura o paso entre la película y el sustrato. Estas ranuras se crean enmascarando partes del sustrato o eliminando selectivamente partes de la película depositada. En la perfilometría de aguja, una aguja traza físicamente el perfil de la superficie, midiendo la diferencia de altura entre la película y el sustrato. La interferometría, por su parte, utiliza la interferencia de ondas de luz para medir el espesor. Este método requiere una superficie altamente reflectante para generar franjas de interferencia, que luego se analizan para determinar el espesor de la película. Ambos métodos miden el espesor en puntos específicos, por lo que la uniformidad de la película es un factor crítico para la precisión.Microscopía electrónica de transmisión (MET):
La TEM se utiliza para analizar películas finas, especialmente en el rango de unos pocos nanómetros a 100 nm. Este método implica el uso de un haz de iones focalizado (FIB) para preparar muestras de grosor adecuado. La TEM proporciona imágenes de alta resolución, lo que permite un análisis detallado de la estructura y el grosor de la película. Es especialmente útil para materiales conductores y semiconductores.
Espectrofotometría:
La espectrofotometría se emplea para medir espesores de película de entre 0,3 y 60 µm. Este método utiliza el principio de interferencia, en el que la interferencia de las ondas de luz se ve afectada por el grosor y el índice de refracción de la película. Analizando los patrones de interferencia, se puede determinar el grosor de la película. Este método es eficaz para películas transparentes y requiere conocer el índice de refracción de la película.
Selección de la técnica de medición:
