A temperaturas más elevadas, la deposición de átomos sobre superficies implica varios procesos complejos, como la descomposición térmica, las reacciones superficiales y la migración de adátomos. El aumento de temperatura mejora la movilidad de los adátomos, lo que puede conducir a la formación de películas más uniformes y densas, pero también introduce el riesgo de reacciones parásitas que pueden dar lugar a impurezas.
Descomposición térmica y reacciones superficiales:
A temperaturas más elevadas, los compuestos volátiles de la sustancia a depositar se evaporan más fácilmente. A continuación, estos vapores sufren una descomposición térmica en átomos y moléculas o reaccionan con otros gases en la superficie del sustrato. Este proceso es crucial, ya que influye directamente en la composición y la estructura de la película depositada. Por ejemplo, la descomposición del amoníaco en una superficie metálica ilustra cómo los precursores moleculares se descomponen en adátomos elementales, esenciales para el crecimiento de la película. La temperatura y la presión del proceso influyen en la velocidad de descomposición y, por consiguiente, en la velocidad de deposición.Migración y nucleación de adátomos:
Los adátomos elementales creados por las reacciones superficiales son muy móviles a temperaturas elevadas. Migran a través de la superficie del sustrato hasta que encuentran lugares de alta energía, como vacantes atómicas, bordes de red o puntos de torsión en superficies cristalinas. En las superficies no cristalinas, otros tipos de lugares de la superficie atrapan adátomos. Esta migración y la eventual nucleación en sitios específicos son fundamentales para la formación de una película uniforme y continua. Las temperaturas más elevadas facilitan esta migración, lo que puede conducir a una nucleación más eficaz y a una mejor calidad de la película.
Reacciones parasitarias e impurezas:
A pesar de las ventajas de las temperaturas más elevadas, estas condiciones también aumentan la probabilidad de que se produzcan reacciones parasitarias en la superficie del material. Estas reacciones pueden producir impurezas que pueden perjudicar las propiedades de la capa en crecimiento. Por ejemplo, la formación de compuestos no deseados o el atrapamiento de subproductos pueden provocar defectos en la película, afectando a sus propiedades eléctricas, mecánicas u ópticas.
Impacto en la estructura y las propiedades de la película:
