El pulverizado reactivo es un proceso que implica una reacción química entre los átomos pulverizados de un blanco metálico y las moléculas de gas reactivo difundidas desde un gas de descarga sobre el sustrato.
Esta reacción produce películas delgadas compuestas, que sirven como material de revestimiento sobre el sustrato.
Explicación de 5 puntos clave
1. 1. Introducción de gas no inerte
Durante el sputtering reactivo, se introduce un gas no inerte, como oxígeno o nitrógeno, en la cámara de sputtering junto con un material objetivo elemental, como el silicio.
2. Reacción química en el sustrato
Cuando las moléculas metálicas del blanco alcanzan la superficie del sustrato, reaccionan con las moléculas de gas reactivo para formar un nuevo compuesto.
A continuación, este compuesto se deposita como una fina película sobre el sustrato.
3. Formación de recubrimientos duros
Los gases reactivos utilizados en el proceso, como el nitrógeno o el oxígeno, reaccionan químicamente con las moléculas metálicas de la superficie del sustrato, dando lugar a la formación de un revestimiento duro.
4. Combinación de sputtering y CVD
El proceso de sputtering reactivo combina los principios del sputtering convencional y el depósito químico en fase vapor (CVD).
Implica el uso de una gran cantidad de gas reactivo para el crecimiento de la película, y el exceso de gas se bombea al exterior.
5. Control de la composición de la película
La composición de la película puede controlarse ajustando las presiones relativas de los gases inerte y reactivo.
La estequiometría de la película es un parámetro importante para optimizar las propiedades funcionales, como la tensión en el SiNx y el índice de refracción del SiOx.
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