El sputtering es una técnica de deposición física en fase vapor (PVD). Consiste en la expulsión de átomos de la superficie de un material. Esto ocurre debido al bombardeo de partículas de alta energía. Estas partículas suelen ser iones procedentes de un plasma. Este proceso da lugar a la deposición de una fina película del material objetivo sobre un sustrato.
5 pasos clave en el principio del sputtering
1. Creación del plasma y aceleración de iones
El sputtering comienza con la creación de un plasma gaseoso dentro de una cámara de vacío. Esto se consigue normalmente introduciendo un gas inerte como el argón. A continuación, se aplica un alto voltaje para generar una descarga luminosa. La descarga ioniza el gas argón, creando un plasma formado por iones y electrones. A continuación, el campo eléctrico acelera los iones hacia un material objetivo (el blanco para sputtering).
2. Bombardeo y expulsión de los átomos del blanco
Cuando los iones de alta energía chocan con el material objetivo, transfieren su energía a los átomos del objetivo. Esto provoca que algunos de ellos sean expulsados de la superficie. Este proceso se conoce como pulverización catódica. Los átomos expulsados suelen ser neutros, es decir, no están cargados.
3. Deposición sobre el sustrato
Los átomos expulsados se desplazan desde el blanco hacia un sustrato situado cerca. Al depositarse sobre el sustrato, forman una fina película. El proceso de deposición puede controlarse para conseguir diversas propiedades, como grosor, uniformidad y composición. Por ejemplo, el sputtering reactivo implica el uso de gases reactivos como el nitrógeno o el oxígeno para formar compuestos como óxidos o nitruros sobre el sustrato.
4. Ventajas y aplicaciones
La pulverización catódica es una técnica muy apreciada por su capacidad para producir películas finas densas, uniformes y de alta calidad. Se utiliza ampliamente en la fabricación de semiconductores, dispositivos ópticos y revestimientos duros debido a su naturaleza lisa y a sus excelentes propiedades de adhesión. La técnica también es capaz de depositar una amplia gama de materiales, incluidos metales, aleaciones y compuestos, lo que la hace versátil para diversas aplicaciones industriales.
5. Variaciones tecnológicas
La tecnología de sputtering puede adaptarse a diferentes necesidades variando parámetros como el tipo de gas utilizado, el voltaje aplicado y la configuración del equipo. Por ejemplo, se puede utilizar radiofrecuencia (RF) o media frecuencia (MF) para bombardear materiales no conductores.
En resumen, el sputtering es una técnica de PVD precisa y versátil. Aprovecha la energía de los iones de plasma para expulsar y depositar átomos del material objetivo sobre los sustratos. Así se forman películas finas con propiedades controladas. Este método es crucial en varias industrias de alta tecnología debido a su capacidad para producir revestimientos y películas de alta calidad.
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