El gas utilizado en el proceso de sputtering suele ser un gas inerte, siendo el argón la opción más común y rentable. También se utilizan otros gases inertes como el criptón, el xenón, el neón y el nitrógeno, en función de los requisitos específicos del proceso de sputtering y del peso atómico del material objetivo. La elección del gas es crucial para una transferencia eficaz del momento, prefiriéndose gases más ligeros como el neón para el sputtering de elementos ligeros y gases más pesados como el criptón o el xenón para elementos pesados. Además, pueden utilizarse gases reactivos como el oxígeno y el nitrógeno junto con gases inertes para depositar películas finas de óxidos, nitruros y otros compuestos. La selección del gas de sputtering puede influir significativamente en la velocidad de deposición y en la calidad de la película o revestimiento sobre el sustrato.
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