Cuando se trata de medir el grosor de películas finas, destaca una técnica: la elipsometría espectroscópica.
¿Cuál de las siguientes técnicas de medición se utiliza habitualmente para determinar el espesor de películas finas? (Se analizan 4 métodos clave)
1. 1. Elipsometría espectroscópica
La elipsometría espectroscópica es un método no destructivo y sin contacto.
Puede medir el espesor de películas transparentes y semitransparentes de una o varias capas.
Este método se utiliza ampliamente en industrias como la electrónica y la de semiconductores.
Permite medir simultáneamente el espesor de la película y sus propiedades ópticas, como el índice de refracción y el coeficiente de extinción.
El intervalo de espesores adecuado para la elipsometría espectroscópica oscila entre 1 nm y 1.000 nm.
Sin embargo, es posible que no mida con precisión el espesor de películas finas sobre sustratos transparentes utilizados en óptica.
2. Perfilometría con estilete
La perfilometría con estilete es otra técnica que puede utilizarse para realizar mediciones mecánicas del espesor de las películas.
Requiere la presencia de una ranura o escalón en la superficie de la película.
3. Interferometría
La interferometría también es un método que puede utilizarse para medir el espesor de la película.
Al igual que la perfilometría de palpador, requiere características específicas de la superficie para funcionar eficazmente.
4. Otras técnicas
Para aplicaciones que implican sustratos transparentes utilizados en óptica, se pueden explorar otros métodos como XRR, SEM transversal y TEM transversal.
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