La técnica de medición utilizada habitualmente para determinar el espesor de películas finas es la elipsometría espectroscópica. La elipsometría espectroscópica es un método no destructivo y sin contacto que permite medir el espesor de películas transparentes y semitransparentes de una o varias capas. Se utiliza ampliamente en industrias como la electrónica y la de semiconductores. Este método permite medir simultáneamente el espesor de la película y sus propiedades ópticas, como el índice de refracción y el coeficiente de extinción. El intervalo de espesores en el que la elipsometría espectroscópica es adecuada se sitúa entre 1 nm y 1.000 nm. Sin embargo, es posible que no mida con precisión el grosor de las películas finas basadas en sustratos transparentes utilizadas en óptica. Otras técnicas, como la perfilometría de palpador y la interferometría, también pueden utilizarse para medir mecánicamente el grosor de las películas, pero requieren la presencia de una ranura o escalón en la superficie de la película. Es importante tener en cuenta factores como la transparencia del material, la información adicional necesaria y el presupuesto a la hora de seleccionar una técnica de medición del espesor de películas finas.
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