El sputtering de magnetrón de corriente continua es un método popular para depositar películas finas, pero tiene varios inconvenientes.
¿Cuáles son las 6 desventajas del sputtering de magnetrón DC?
1. 1. Baja adhesión película/sustrato
El sputtering por magnetrón DC puede dar lugar a una baja adhesión entre la película depositada y el sustrato.
Esto puede dar lugar a recubrimientos de baja calidad que se despegan o desprenden fácilmente del sustrato.
2. Baja tasa de ionización del metal
La ionización de los átomos metálicos pulverizados no es muy eficaz en el sputtering magnetrónico de corriente continua.
Esto puede limitar la velocidad de deposición y dar lugar a revestimientos de menor calidad con densidad y adherencia reducidas.
3. Baja velocidad de deposición
El sputtering de magnetrón DC puede tener tasas de deposición más bajas en comparación con otros métodos de sputtering.
Esto puede ser una desventaja cuando se requieren procesos de recubrimiento de alta velocidad.
4. Erosión no uniforme del blanco
En el sputtering por magnetrón DC, el blanco experimenta una erosión no uniforme debido a la necesidad de una buena uniformidad de deposición.
Esto puede reducir la vida útil del cátodo y la necesidad de sustituirlo con mayor frecuencia.
5. Limitaciones del sputtering de materiales aislantes y de baja conductividad
El sputtering por magnetrón DC no es adecuado para el sputtering de materiales poco conductores o aislantes.
La corriente no puede atravesar estos materiales, lo que provoca una acumulación de carga y un sputtering ineficaz.
El sputtering por magnetrón RF se utiliza a menudo como alternativa para el sputtering de este tipo de materiales.
6. Arco eléctrico y daños en la fuente de alimentación
El sputtering DC de materiales dieléctricos puede provocar que las paredes de la cámara se recubran con un material no conductor.
Esto puede provocar la aparición de pequeños y macro arcos durante el proceso de deposición.
Estos arcos pueden dañar la fuente de alimentación y provocar una eliminación irregular de átomos del material objetivo.
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