El sputtering es un proceso de deposición de películas finas en el que los átomos son expulsados de un material objetivo debido al bombardeo de partículas de alta energía y, a continuación, se depositan sobre un sustrato. Este proceso se utiliza ampliamente en industrias como la de los semiconductores, las unidades de disco, los CD y los dispositivos ópticos.
Explicación detallada:
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Mecanismo de pulverización catódica:
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La pulverización catódica implica el uso de un plasma de partículas o iones de alta energía que golpean la superficie de un objetivo sólido. Este bombardeo provoca la expulsión de átomos del blanco. Los átomos expulsados se desplazan por el vacío y se depositan sobre un sustrato, formando una fina película. Este proceso es un tipo de deposición física en fase vapor (PVD), lo que significa que la deposición se produce por medios físicos y no químicos.Desarrollo histórico:
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El fenómeno del sputtering fue observado por primera vez en el siglo XIX por científicos como Grove y Faraday. Sin embargo, no fue hasta mediados del siglo XX cuando el sputtering se convirtió en un proceso industrial importante, sobre todo con el desarrollo de tecnologías como las planchas de afeitar con sputtering de cromo en la década de 1960. La comprensión teórica y las aplicaciones prácticas del sputtering han evolucionado significativamente desde su descubrimiento, con avances en la tecnología del vacío y la física del plasma.
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Tipos de sputtering:
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Existen diversas variantes del proceso de pulverización catódica, pulverización catódica por diodos, pulverización catódica por RF o CC, pulverización catódica por haz de iones y pulverización catódica reactiva. A pesar de los diferentes nombres y técnicas específicas, todos estos métodos implican fundamentalmente la expulsión de átomos de un material objetivo mediante bombardeo iónico.Aplicaciones:
El sputtering es crucial en la fabricación de películas finas con propiedades precisas, como las necesarias en semiconductores, dispositivos ópticos y revestimientos de precisión. Las películas producidas por sputtering son conocidas por su excelente uniformidad, densidad y adherencia, lo que las hace adecuadas para una amplia gama de aplicaciones en las que estas características son esenciales.
