Tanto el sputtering como la evaporación por haz de electrones son métodos utilizados en la deposición física en fase vapor (PVD) para crear películas finas.
Sin embargo, estas dos técnicas tienen procesos y características diferentes.
5 puntos clave a tener en cuenta
1. Proceso de deposición
La pulverización catódica consiste en utilizar átomos de plasma energizados, normalmente argón, para incidir sobre un material fuente cargado negativamente.
Estos átomos energizados hacen que los átomos del material fuente se desprendan y se adhieran a un sustrato, formando una película delgada.
La pulverización catódica se produce dentro de un campo magnético cerrado y en el vacío.
Por otro lado, la evaporación por haz de electrones utiliza un haz de electrones para enfocar un material fuente, produciendo temperaturas muy altas que vaporizan el material.
Este proceso también tiene lugar dentro de una cámara de vacío o de deposición.
2. Temperatura
El sputtering se realiza a una temperatura más baja que la evaporación por haz de electrones.
3. 3. Velocidad de deposición
La evaporación por haz de electrones suele tener una tasa de deposición mayor que el sputtering, especialmente para dieléctricos.
4. Cobertura del recubrimiento
El sputtering proporciona una mejor cobertura de recubrimiento para sustratos complejos.
5. Aplicaciones
La evaporación por haz de electrones se utiliza más comúnmente para la producción de lotes de gran volumen y recubrimientos ópticos de película fina.
El sputtering se utiliza en aplicaciones que requieren altos niveles de automatización.
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Mientras tanto, nuestros sistemas de pulverización catódica utilizan átomos de plasma energizados para lograr una excelente cobertura de recubrimiento sobre sustratos complejos, lo que da como resultado películas finas de gran pureza.
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