La energía de los átomos pulverizados suele oscilar entre decenas y cientos de electronvoltios, con una energía cinética media que suele rondar los 600 eV. Esta energía se imparte a los átomos cuando son expulsados de un material objetivo debido al impacto de iones de alta energía. El proceso de pulverización catódica implica la transferencia de impulso de los iones incidentes a los átomos del blanco, lo que provoca su expulsión.
Explicación detallada:
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Mecanismo de transferencia de energía:
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La pulverización catódica se produce cuando los iones colisionan con la superficie de un material objetivo. Estos iones suelen tener energías que oscilan entre varios cientos de voltios y varios kilovoltios. La transferencia de energía del ion al átomo objetivo debe superar la energía de enlace del átomo de la superficie para que se produzca la pulverización catódica. Esta energía de enlace suele ser del orden de unos pocos electronvoltios. Una vez alcanzado el umbral de energía, los átomos objetivo adquieren la energía suficiente para superar su enlace superficial y son expulsados.Distribución energética de los átomos pulverizados:
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La energía cinética de los átomos pulverizados no es uniforme. Muestran una amplia distribución de energía, que a menudo se extiende hasta decenas de electronvoltios. En esta distribución influyen varios factores, como la energía, el ángulo y el tipo de ión entrante, así como la naturaleza del material objetivo. La distribución de energía puede variar desde impactos balísticos de alta energía hasta movimientos termalizados de menor energía, dependiendo de las condiciones y de la presión del gas de fondo.
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Influencia de los parámetros del proceso:
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La eficacia de la pulverización catódica y la energía de los átomos pulverizados se ven afectadas significativamente por diversos parámetros, como el ángulo de incidencia de los iones, la energía de los iones, las masas de los iones y de los átomos objetivo, la energía de enlace entre los átomos objetivo y la presencia de un campo magnético o diseños específicos de cátodos en los sistemas de pulverización catódica por magnetrón. Por ejemplo, los iones más pesados o con mayor energía suelen provocar mayores transferencias de energía a los átomos objetivo, lo que se traduce en mayores energías cinéticas de los átomos pulverizados.Pulverización catódica preferente:
En los cátodos multicomponente, puede producirse una pulverización catódica preferencial en la que un componente es pulverizado más eficientemente que otros debido a diferencias en las energías de enlace o efectos de masa. Esto puede dar lugar a cambios en la composición de la superficie del cátodo a lo largo del tiempo, afectando a la energía y composición del material pulverizado.
