La deposición por pulverización catódica es un proceso utilizado para crear películas finas mediante la expulsión de átomos de un material diana sólido a través del bombardeo de partículas energéticas.
Esta técnica se utiliza ampliamente en la fabricación de semiconductores y chips informáticos.
Explicación de los 5 pasos clave
1. Material objetivo
El material objetivo es la fuente de átomos para la deposición de la película fina.
Suele ser un elemento metálico o una aleación, elegido en función de las propiedades deseadas de la película fina, como la conductividad, la dureza o las propiedades ópticas.
Los cátodos cerámicos se utilizan cuando se requiere un recubrimiento endurecido, como en el caso de las herramientas.
2. Bombardeo con partículas energéticas
El blanco se bombardea con partículas energéticas, normalmente iones procedentes de un plasma.
Estos iones tienen energía suficiente para provocar cascadas de colisiones dentro del material objetivo.
Cuando estas cascadas alcanzan la superficie del blanco con suficiente energía, expulsan átomos del blanco.
En el proceso influyen factores como el ángulo de incidencia del ion, la energía y las masas del ion y de los átomos del blanco.
3. Rendimiento de la pulverización catódica
El rendimiento de la pulverización catódica es el número medio de átomos expulsados por cada ion incidente.
Es un parámetro crítico en el proceso de sputtering ya que determina la eficiencia de la deposición.
El rendimiento depende de varios factores, como la energía de enlace superficial de los átomos del blanco y la orientación de los blancos cristalinos.
4. Deposición sobre el sustrato
Los átomos expulsados del blanco viajan a través de la cámara y se depositan sobre un sustrato.
La deposición se produce en condiciones controladas, a menudo en un entorno de vacío o de gas a baja presión, para garantizar que los átomos se depositan de manera uniforme, formando una película fina de espesor constante.
5. Tipos de deposición por pulverización catódica
La deposición por pulverización catódica puede realizarse en diferentes condiciones, que van desde el alto vacío hasta presiones de gas más elevadas.
En condiciones de alto vacío, las partículas pulverizadas no sufren colisiones en fase gaseosa, lo que permite la deposición directa sobre el sustrato.
En condiciones de mayor presión de gas, las partículas se termalizan por colisiones en fase gaseosa antes de llegar al sustrato, lo que puede afectar a las propiedades de la película depositada.
Siga explorando, consulte a nuestros expertos
Descubra la precisión y la potencia de los sistemas de deposición por sputtering de KINTEK SOLUTION.
Diseñados para revolucionar su proceso de fabricación de películas finas.
Desde los materiales avanzados hasta la tecnología de deposición más avanzada, nuestras soluciones garantizan rendimientos óptimos de pulverización catódica y recubrimientos uniformes de las películas.
Mejore su producción de semiconductores y chips informáticos con KINTEK SOLUTION, donde la innovación se une a la eficiencia.
Solicite hoy mismo su consulta personalizada y entre en el futuro de la tecnología de capa fina.
