Para medir el grosor de una película delgada mediante microscopía electrónica de barrido (SEM), el proceso suele consistir en analizar vistas transversales de la película delgada. Este método es especialmente eficaz para películas finas semiconductoras con espesores comprendidos entre 100 nm y 100 μm. El SEM no sólo mide el grosor, sino que también proporciona información sobre la morfología de la superficie y la composición elemental de la película, especialmente cuando se combina con un detector de espectroscopia de energía dispersiva (EDS).
Análisis SEM transversal:
El primer paso para medir el espesor de una película fina con SEM es preparar una muestra transversal. Para ello, se corta la muestra de forma que quede expuesta una sección transversal limpia y clara de la película fina. A continuación, la muestra se monta en un soporte y se recubre con una fina capa de material conductor, normalmente oro o platino, para evitar que se cargue durante el proceso de obtención de imágenes SEM.Obtención de imágenes y medición:
Una vez preparada, la muestra se visualiza con el SEM. El haz de electrones recorre la superficie de la muestra y las interacciones entre los electrones y la muestra generan señales que proporcionan información sobre la topografía de la superficie de la muestra, su composición y otras características. Para la medición del espesor, la vista transversal es fundamental, ya que permite la visualización directa del espesor de la película. El espesor puede medirse directamente a partir de las imágenes SEM analizando la distancia entre la superficie superior de la película y el sustrato.
Precisión y consideraciones:
La precisión de la medición del espesor depende de la resolución del SEM y de la calidad de la preparación de la muestra. Los SEM de alta resolución pueden proporcionar mediciones con una precisión nanométrica. Sin embargo, es importante tener en cuenta que la composición y la estructura de la muestra deben conocerse para garantizar un análisis preciso. Si se desconoce la composición, pueden producirse errores en la medición del espesor.
Ventajas y limitaciones:
